勻膠機規格

勻膠機規格

臺式勻膠機：（Spin Coater)適合半導體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合硅片,晶片,基片,ITO導電玻璃等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。 
詳細介紹： 勻膠機(英文名：Spin Coater) 
行業俗稱:勻膠臺,甩膠機,涂膠機,鍍膜機,涂層機,旋涂機,旋涂儀等。 
產品概述: 
同德品牌KW型勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆. 
1、4.3寸24位真彩色觸摸屏
1、人機界面和編程模式：2、帶USB口可接U盤存儲轉移數據,
可接無線鼠標鍵盤：機器可放于手套箱
同時客戶可在手套箱外遠程操作機器
3、可存儲無限組數據，每組10段轉速
4、轉速范圍1-10000轉/分，加速度可調
2、兼容基片：Φ5-Φ150mm硅片及其它材料等勻膠
3、加速度范圍：1-10000RPM/S
4、轉速穩定度：±0.1％
5、膜的均勻性：±1％
6、電機功率：200W
7、供電方式：單相110-240V供電
8、真空泵抽氣速率：≥60升／分
9、儀器尺寸：210×220×160mm
10、勻膠機重量：10KG
11、泵重量：9KG
12、特色功能：1.全機身采用304不銹鋼材質
2.轉速精度：1RPM
3.智能化人機界面，可放入手套箱
13、配套片托：5-150mm