壓電納米定位臺系列

壓電納米定位臺系列

無中空 / 中空式壓電納米定位臺、壓電式移相器、穩(wěn)像壓電掃描臺、壓電顯微樣品臺、快速刀具定位臺。

一至六維運動可選

納米級分辨率

行程可達毫米級

毫秒至亞毫秒級響應(yīng)

低溫、真空、無磁版本可選

可定制

壓電納米定位臺

壓電納米定位臺是以壓電陶瓷作為驅(qū)動源，結(jié)合柔性鉸鏈機構(gòu)實現(xiàn) X 軸、Z 軸、XY 軸、XZ 軸、XYZ 軸及六軸精密運動的壓電平臺，驅(qū)動形式包含壓電陶瓷直驅(qū)機構(gòu)式、放大機構(gòu)式。運動范圍可達毫米級，具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點，配置高精度傳感器，可以實現(xiàn)納米級分辨率及定位精度且具有*高的可靠性，壓電納米定位臺在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。

P11 系列壓電納米定位臺（放大機構(gòu)式）

P11 系列壓電納米定位臺為小體積 1~3 維壓電平移臺，平臺內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構(gòu)，一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計。機構(gòu)放大式驅(qū)動原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實現(xiàn) 100μm 位移。閉環(huán)版本定位精度可達納米級。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導向系統(tǒng)具有高導向精度、高剛性、高負載、無摩擦、免維護等特點。壓電定位臺具有非常高的控制精度，分辨率和穩(wěn)定性可達納米量級，定位穩(wěn)定時間為毫秒量級。壓電定位臺為無磁材質(zhì)，使用過程中不受磁場的影響，且體積小、結(jié)構(gòu)緊湊、易于集成。

P11.X/Z/XY200 壓電納米定位臺

P11.X/Z/XY200 系列壓電納米定位臺是運動壓電平臺，它的行程范圍可達 200μm。可選配閉環(huán)反饋傳感器，獲取更高精度。可定制低溫真空版本。

P13 系列壓電納米定位臺（放大機構(gòu)式）

P13 系列壓電納米定位臺為二維 XY、三維 XYZ 壓電平臺，臺體采用平行運動學機構(gòu)放大設(shè)計原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，位移達 48μm/ 軸。開、閉環(huán)版本可供選擇。產(chǎn)品可用于光學顯微、生物科技等領(lǐng)域。

P60.XYZ200 三維壓電納米定位臺

P60.XYZ200 系列壓電納米定位臺是 XYZ 三維運動壓電平臺，它的行程范圍可達 200μm/ 軸。

P63 系列壓電納米定位臺（直驅(qū)機構(gòu)式）

P63 系列壓電納米定位臺為小體積 1~3 維壓電定位平臺，內(nèi)部采用直驅(qū)機構(gòu)，它的重要特點是高精密且體積非常小巧，XYZ 三維運動版本的尺寸僅為 30×30×42mm（X 向運動版本尺寸僅為 30×30×21mm），非常易于集成到任何掃描儀器中。

P66 系列壓電納米定位臺（直驅(qū)或放大機構(gòu)式）

P66 系列壓電納米定位臺以壓電陶瓷為驅(qū)動源，并采用直驅(qū)或放大機構(gòu)的 1~3 維運動的壓電位移平臺，是壓電與柔性鉸鏈相結(jié)合的納米定位系統(tǒng)，可達毫秒級響應(yīng)、納米級定位精度，并可選配高精度傳感器進行閉環(huán)精密定位控制。該產(chǎn)品非常適于定位應(yīng)用，如干涉中光路徑長度修正、顯微或掃描應(yīng)用中的樣品定位等，已廣泛應(yīng)用于干涉、顯微、精密加工等領(lǐng)域。

P66.X30S/K-C1 壓電納米定位臺

P66.X30S/K-C1 壓電納米定位臺為一維 X 向運動壓電平臺，可進行 38μm 范圍內(nèi)的納米級位置調(diào)整。

XD611.Z300 系列壓電納米定位臺（低溫真空）

XD611.Z300 是一款 Z 向運動的壓電納米定位臺，它的行程可達 300μm，是專為低溫真空環(huán)境應(yīng)用而研發(fā)設(shè)計。

XD611.XYZ500 壓電納米定位臺

XD611.XYZ500 壓電納米定位臺是一款三維運動的壓電平臺，行程可高達 500μm，適用于小型樣品的三維納米定位應(yīng)用。

XD770.300 系列大負載壓電納米定位臺

壓電納米定位臺在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用，可集成于各類高精密裝備，為其提供納米級運動控制，且應(yīng)用非常廣泛。

XD770.300 系列壓電納米定位臺為 Z 軸方向的運動平臺，行程可達300μm，負載可達5kg，實現(xiàn)行程范圍和負載能力的雙提升，為同時有大行程、大負載應(yīng)用需求提供了優(yōu)質(zhì)的解決方案。配合芯明天壓電控制器，分辨率高、響應(yīng)速度快。

XD780 系列壓電納米定位臺

XD780 系列壓電納米定位臺可實現(xiàn)一維 X 向運動，有 50μm、150μm 和 200μm 三種行程可選。平臺內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構(gòu)，一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計。內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實現(xiàn) 200μm位移。閉環(huán)版本全橋設(shè)計避免了溫度的漂移，確保了納米級定位精度。

XD731.XYZ100S/K 系列真空三維壓電納米定位臺

XD731 系列三維壓電納米定位臺是專為真空應(yīng)用環(huán)境而設(shè)計，它的真空兼容度可達 10E-7mbar。

XP-611 系列壓電納米定位臺（放大機構(gòu)式）

XP-611 系列壓電納米定位臺為一維 X 軸或 Z 軸壓電平移臺，采用機構(gòu)放大設(shè)計原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實現(xiàn) X 軸或 Z 軸 100μm 的位移行程，柔性鉸鏈導向機構(gòu)無摩擦、無后坐力。可選擇閉環(huán)版本定位精度高，是一維精密定位與掃描的理想選擇。

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