薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)各方面信息了解

來(lái)源：廣州貝拓科學(xué)技術(shù)有限公司 2025年07月31日 07:22

薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)
Thin Film Thickness Measurement System

快速、準(zhǔn)確、無(wú)損、靈活、易用、性價(jià)比高

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
TF200薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)利用薄膜干涉光學(xué)原理，對(duì)薄膜進(jìn)行厚度測(cè)量及分析。用從深紫外到近紅外可選配的寬光譜光源照射薄膜表面，探頭同位接收反射光線。TF200根據(jù)反射回來(lái)的干涉光，用反復(fù)校準(zhǔn)的算法快速反演計(jì)算出薄膜的厚度。測(cè)量范圍1nm-3mm，可同時(shí)完成多層膜厚的測(cè)試。對(duì)于100nm以上的薄膜，還可以測(cè)量n和k值。

應(yīng)用領(lǐng)域：

半導(dǎo)體（SiO2/SiNx、光刻膠、MEMS，SOI等）

LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亞酰胺ITO等)

LED (SiO2、光刻膠ITO等）

觸摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率測(cè)試等)

汽車(chē)(防霧層、Hard CoatingDLC等）

醫(yī)學(xué)（聚對(duì)二甲苯涂層球囊/壁厚藥膜等）

產(chǎn)品的優(yōu)勢(shì)

應(yīng)用案例（數(shù)據(jù)可靠）

薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)

型號(hào)	Delta-VIS	Delta-DUV	Delta-NIR
波長(zhǎng)范圍	380-1050nm	190-1100nm	900-1700nm
厚度范圍	50nm-40um	1nm-30um	10um-3mm
準(zhǔn)確度1	2nm	1nm	10nm
精度	0.2nm	0.2nm	3nm
入射角	90°	90°	90°
樣品材料	透明或半透明	透明或半透明	透明或半透明
測(cè)量模式	反射/透射	反射/透射	反射/透射
光斑尺寸2	2mm	2mm	2mm
是否能在線	是	是	是
掃描選擇	XY可選	XY可選	XY可選

注：1.取決于材料0.4%或2nm之間取較大者。

2.可選微光斑附件。

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