原位動(dòng)態(tài)光譜測(cè)試方案

鈣鈦礦和有機(jī)半導(dǎo)體薄膜在發(fā)光面板、光伏、半導(dǎo)體晶體管等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。這些薄膜主要通過(guò)溶液旋涂、刮涂、絲網(wǎng)印刷、狹縫涂布等工藝實(shí)現(xiàn)。在溶劑揮發(fā)過(guò)程中，材料從溶液態(tài)向薄膜固態(tài)逐步進(jìn)行相轉(zhuǎn)變，與之同時(shí)材料的光學(xué)特性，包括熒光光譜特性、吸收光譜特性、反射光譜特性均會(huì)隨著溶劑的揮發(fā)而改變。

因此，科研人員可以通過(guò)研究多種光譜的變化來(lái)理解半導(dǎo)體成膜過(guò)程中的相變過(guò)程。另一方面，在半導(dǎo)體薄膜老化過(guò)程中，材料的多種光譜特性也會(huì)發(fā)生變化，那么可以通過(guò)原位跟蹤材料光譜的變化深入理解材料的老化機(jī)制。

在時(shí)間分辨光譜儀方面我公司推出高靈敏度高分辨率動(dòng)態(tài)吸收、動(dòng)態(tài)熒光和動(dòng)態(tài)反射多光譜系統(tǒng)，一套系統(tǒng)（集成了旋涂、寬波段組合光源、激發(fā)光源以及多光譜儀），可原位獲得旋涂過(guò)程中吸收光譜、熒光（PL）光譜和反射光譜的動(dòng)態(tài)變化（時(shí)間分辨率1 ms，光學(xué)分辨率0.1 nm）。該系統(tǒng)集成度高，方便放置到手套箱。因此，該系統(tǒng)可以原位監(jiān)測(cè)化學(xué)反應(yīng)動(dòng)力學(xué)和材料相變過(guò)程，可用于跟蹤溶劑揮發(fā)、溶劑退火、熱退火過(guò)程中的材料相變，并在化學(xué)反應(yīng)動(dòng)力學(xué)、生化過(guò)程的跟蹤檢測(cè)方面具有優(yōu)勢(shì)。

在空間分辨光譜方面，對(duì)于很多半導(dǎo)體薄膜材料，溶劑揮發(fā)過(guò)程中，液膜垂直方向上不同位置處的表面能、溶劑濃度、界面化學(xué)等都會(huì)存在動(dòng)態(tài)差異，從而引起薄膜垂直相分離或者分子（微晶）取向的不同。人們希望通過(guò)空間分辨的光譜技術(shù)（反射光譜、吸收光譜、熒光光譜）等來(lái)理解相變的空間特性。