S23.ZT0S/K25小體積三維壓電偏轉鏡

來源：哈爾濱芯明天科技有限公司 2025年05月20日 09:50

S23.ZT0S/K25系列壓電偏轉鏡是一款小體積三維壓電偏轉鏡，可進行θx、θy兩軸偏轉和Z向升降運動，偏轉角度可達±0.5mrad/軸，直線位移可達20.5μm，能夠滿足多種角度對光路調節的需求。空載諧振頻率可達4.2kHz，可以在短的時間內完成快速響應，實現高頻次的光路調整。閉環偏擺分辨率可達0.03μrad，直線可達1nm，能夠精準把控極其微小的角度變化，確保光路調節的超高精準度。小體積的緊湊結構設計，能夠更輕松集成到各種對空間要求嚴苛的光學系統中，無論是小型化的科研儀器，還是對設備尺寸有嚴格限制的工業應用場景，都能高度契合，為系統集成化設計提供了極大的靈活性。

產品特點

θx、θy偏轉，Z軸升降

偏擺位移可達±0.5mrad/軸

直線位移可達20.5μm

空載諧振頻率可達4.2kHz

中心通孔φ25.4mm

典型應用

航空航天——衛星激光通信

在衛星光通信中，由于大氣中的環境因素（如折射、散射、大氣湍流等）和激光束自身光束窄、發散角度小等問題，使得激光光束在瞄準過程中容易偏離目標，導致通信狀況差。壓電偏擺鏡由于精度高、響應速度快的特點可以很好的校正誤差。

精密加工——激光加工

在微米級小孔的超快激光加工應用中，對精度的要求非常高，壓電偏轉鏡由于其精度高、響應速度快等特點，集成在激光加工系統中，可以將加工精度低、孔徑不圓滑等問題解決。

顯微成像——超分辨顯微成像

在光學顯微鏡應用中，壓電偏轉鏡可以在系統內帶動鏡片偏轉，進行光路轉向調整，用于獲取更清晰、均勻且對比度更高的圖像，大幅提高顯微鏡的分辨率和精度，從而實現更加精準的樣品觀察和分析。

型號	S23.ZT0S/K25
運動自由度	θx、θy、Z
驅動控制	3路驅動，3路傳感/3路驅動
標稱直線行程范圍（0~120V）	16.5μm
Max.直線行程范圍（0~150V）	20.5μm
標稱偏擺角度（0~120V）	±0.4mrad/軸（≈±82秒）
Max.偏擺角度（0~150V）	±0.5mrad/軸（≈±103秒）
傳感器類型	SGS/-
通孔	25.4mm
直線分辨率	1nm/0.5nm
偏擺分辨率	0.03μrad（<0.01 秒） /0.01μrad（<0.01 秒）
閉環重復定位精度	θx0.03%F.S. /θy0.06%F.S.
空載諧振頻率	4.2kHz
帶載諧振頻率@50g	θxθy3.7kHz/Z2.3kHz
承載能力	50g
靜電容量	2μF/軸
階躍時間	10ms@50g，滿幅值
材質	鋼
出線長	1.5m
重量	250g

E70.D3S/C3K-L壓電控制器是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的三通道壓電控制器，它采用DC24V3A直流供電，帶寬10kHz/通道，可通過RS-232/422、USB、百兆以太網進行數字通信，非常適用于驅動S23.ZT0S/K25壓電偏轉鏡。

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