• <del id="qqie6"><sup id="qqie6"></sup></del>
  • <tfoot id="qqie6"></tfoot>
  • <ul id="qqie6"></ul>
  • 產(chǎn)品推薦:水表|流量計|壓力變送器|熱電偶|液位計|冷熱沖擊試驗箱|水質(zhì)分析|光譜儀|試驗機|試驗箱


    儀表網(wǎng)>技術中心>技術交流>正文

    歡迎聯(lián)系我

    有什么可以幫您? 在線咨詢

    MEMS 傳感器工作原理及其應用

    來源:深圳市百世精工科技有限公司   2025年02月25日 07:46  
      

          MEMS 一詞代表微機電系統(tǒng)。這些是一組器件,這些器件的表征可以通過它們的微小尺寸和設計模式來完成。這些的設計可以使用 1- 微米的元件來完成。這些設備可以從小型結(jié)構到非常困難的機電系統(tǒng),在微電子控制下具有大量移動元件。通常,這些傳感器在一個封裝中包括機械微執(zhí)行器、微結(jié)構、微電子和微傳感器。本文討論什么是MEMS傳感器、工作原理、優(yōu)點及其應用。


          什么是 MEMS 傳感器?

          MEMS 是低成本、高精度,用于服務廣泛的工業(yè)應用。該傳感器采用基于芯片的技術,即微機電系統(tǒng)。這些傳感器用于檢測和測量壓力等外部刺激,然后通過一些機械動作對壓力做出響應,從而測量壓力。例子主要包括用于補償壓力變化的電機旋轉(zhuǎn)。

    mems-ic.

    微機電芯片

          MEMS IC 制造可以使用硅來完成,從而將少量材料層放置在硅基板上,否則固定在硅基板上。之后,有選擇地固定下來,留下隔膜、橫梁、杠桿、彈簧和齒輪等微觀 3D 結(jié)構。


          MEMS 制造需要許多用于構建其他半導體電路的技術,如氧化工藝、擴散工藝、離子注入工藝、低壓化學氣相沉積工藝、濺射等。此外,這些傳感器使用微加工等特殊工藝。


          MEMS傳感器工作原理

          每當 MEMS 傳感器發(fā)生傾斜時,平衡質(zhì)量就會產(chǎn)生電勢差。這可以像電容變化一樣進行測量。然后可以更改該信號以創(chuàng)建穩(wěn)定的數(shù)字 4-20mA 或 VDC 輸出信號。


          這些傳感器是某些不需要精度的應用的良好解決方案,例如工業(yè)自動化、位置控制、滾動和俯仰測量以及平臺調(diào)平。


          MEMS 的類型

          市場上常見的 MEMS 傳感器類型有:

            ?MEMS ;

            ?MEMS;

            ?MEMS壓;

            ?MEMS 磁場傳感器。


          MEMS優(yōu)勢

          MEMS傳感器的優(yōu)點包括以下幾點:

            ?MEMS的制造就像是半導體IC制造一樣的低成本批量發(fā)明,一致性對于MEMS器件來說也是至關重要的;

            ?傳感器子組件的尺寸將在1至100微米范圍內(nèi),MEMS器件尺寸將決定20微米至毫米范圍;

            ?功耗非常低;

            ?易于合并到系統(tǒng)中或進行更改;

            ?熱常數(shù)小;

            ?這些可以高度抵抗沖擊、輻射和振動;

            ?更好的熱顯影耐受性;

            ?并行性。


          微機電系統(tǒng)的應用

          MEMS 傳感器用于不同領域,包括汽車、消費、工業(yè)、軍事、生物技術、太空探索和商業(yè)用途,包括噴墨打印機、現(xiàn)代汽車、消費電子產(chǎn)品、個人電腦中的加速度計等。


          產(chǎn)品:

            ?

            ?

            ?

            ?

            ?


    免責聲明

    • 凡本網(wǎng)注明“來源:儀表網(wǎng)”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡有限公司-儀表網(wǎng)合法擁有版權或有權使用的作品,未經(jīng)本網(wǎng)授權不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權使用作品的,應在授權范圍內(nèi)使用,并注明“來源:儀表網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關法律責任。
    • 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其它來源(非儀表網(wǎng))的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點或和對其真實性負責,不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時,必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源,并自負版權等法律責任。
    • 如涉及作品內(nèi)容、版權等問題,請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關權利。
    聯(lián)系我們

    客服熱線: 15024464426

    加盟熱線: 15024464426

    媒體合作: 0571-87759945

    投訴熱線: 0571-87759942

    關注我們
    • 下載儀表站APP

    • Ybzhan手機版

    • Ybzhan公眾號

    • Ybzhan小程序

    企業(yè)未開通此功能
    詳詢客服 : 0571-87759942
    主站蜘蛛池模板: 国产成人一区二区三区免费视频| 亚洲国产精品成人久久| 欧美成人免费在线观看| 久久久国产成人精品| 青青草国产成人久久91网| 国产成人黄色在线观看| 国产成人福利免费视频| 免费看污成人午夜网站| 2022国产成人福利精品视频 | 成人毛片免费网站| 国产日产成人免费视频在线观看 | 成人欧美一区二区三区的电影| 国产成人无码aa精品一区| 精品无码成人片一区二区98 | 亚洲精品成人网站在线观看| 欧美国产成人在线| 亚洲精品国产成人片| 国产新疆成人a一片在线观看| 欧美a级成人淫片免费看| 国产成人av三级在线观看| 成人性生交视频免费观看| 91成人午夜性a一级毛片| 四虎永久成人免费影院域名| 成人精品视频一区二区三区尤物| 亚洲精品成人网站在线观看| 成人做受120视频试看| 无码成人AAAAA毛片| 精品无码成人久久久久久| 中文字幕成人乱码在线电影| 亚洲国产精品成人久久久 | 综合558欧美成人永久网站| 国产成人亚洲精品无码青青草原| 成人欧美一区二区三区小说| 4444亚洲国产成人精品| 青青国产成人久久激情91麻豆| 国产69久久精品成人看| 四虎成人精品在永久免费| 免费国产成人午夜在线观看| 亚洲最大成人网色| 亚洲国产成人精品无码区二本| 国产成人午夜精华液|