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    擴散硅壓力變送器穩定性分析

       2012年12月10日 09:25  
      擴散硅壓力變送器的推廣已有二十多年,但是他致命的缺點就是內部采用的硅元件不如其他類型的傳感器穩定。擴散硅傳感器屬于平面器件,采用PN結隔離。*。這種隔離方法易于受到工藝過程和工藝環境的影響,使隔離性能下降。無論是PN結內部還是PN結表面受到影響,都會降低絕緣性能,從而影響傳感器穩定地工作。
      
      但是其顯著的特點也是其他傳感器*的,擴散硅壓力變送器可以利用半導體技術批量生產,極大地降低了生產成本,利用為機械加工技術使傳感器微型化和集成化,縮小了傳感器的面積,擴大了應用領域。

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