Z向運動大承載壓電掃描臺 - P70.Z200系列

來源：哈爾濱芯明天科技有限公司 2023年12月07日 11:14

P70.Z200系列壓電掃描臺是一款兼具小體積、大行程、大負載特點的Z向運動一維壓電掃描臺。它采用機構放大原理，無摩擦柔性鉸鏈導向機構內置高可靠性壓電陶瓷驅動，具有中心通孔設計，可帶動物鏡或樣品實現納米級精度的Z向升降運動，行程可達到200μm，承載可達500g。其內置傳感器通過全橋方式連接，無漂移，可以實現在納米范圍內精確定位，閉環分辨率6nm，重復定位精度達0.02%F.S.。產品在顯微成像、光學檢測、生物科技、圖像處理等領域廣泛應用。

小體積中心通孔設計

P70.Z200系列壓電掃描臺體積非常小巧，且具有φ10mm的中心通孔設計，尺寸如下圖所示。

負載安裝便捷

P70.Z200系列壓電掃描臺在中心部位配置負載螺紋孔，便于物鏡或樣品等負載的安裝，最大承載可達500g。標準負載適配螺紋W0.8×1/36”,可根據用戶不同需求定制螺紋尺寸。

閉環快速階躍

P70.Z200系列壓電掃描臺閉環空載階躍時間為20ms，當帶載200g階躍時間可達30ms，響應速度快。

典型應用舉例

應用于籠式結構

芯明天研發生產的P70.Z200系列壓電掃描臺結構中配備了籠式結構安裝通孔，可直接集成到籠式結構中。它可用于帶載物鏡，進行Z向直線運動的納米級調整，精確的調整經物鏡聚焦后的焦點與樣品間的距離。

顯微成像

對于高分辨率顯微成像技術而言，壓電掃描臺是其中不可少的一部分，它可以帶載物鏡或樣品做Z向的聚焦或樣品位置的調節，大幅提高成像的清晰度，其精度可達納米級別。且壓電掃描臺由電信號控制，聚焦速度快，響應速度可達亞毫秒或毫秒量級。

生物科技

隨著生物醫療技術的快速發展，精密定位技術也在其領域中廣泛應用。如染色體的切割、細胞分離、細胞融合、納升配藥、微流體等，其中定位部分可應用壓電定位掃描臺，可利用其超高的分辨率及定位精度和抗干擾能力，進行精確定位。

技術參數

型號	P70.Z200
運動自由度	Z
驅動控制	1路驅動，1路傳感
標稱行程范圍（0~120V）	136μm
行程范圍（-20~150V）	200μm
傳感器類型	SGS
閉/開環分辨率	6nm/2nm
閉環線性度	0.05%F.S.
閉環重復定位精度	0.02%F.S.
空載諧振頻率	500Hz
帶載諧振頻率@200g	250Hz
閉/開環空載階躍時間	20ms
承載能力	500g
靜電容量	7.2μF
材質	鋼、鋁
重量	240g（包含6芯連接線）

配套控制器

E53.D1S壓電控制器非常適用于驅動P70.Z200系列壓電掃描臺，它是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的單通道壓電陶瓷控制器。該控制器采用專用運放電路保證了高壓大電流的輸出能力，通過優化傳感伺服模塊從而提高了PI調節與控制的精準度與穩定性，可靠的抗干擾設計保證了控制器的高頻率響應速度。

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