共聚焦顯微鏡在光學膜片表面微結構測量中的應用

來源：深圳市中圖儀器股份有限公司 2023年07月21日 09:03

在當前的液晶顯示器行業，TFT液晶面板因其顯示反應速度更快更適用于動畫及顯像顯示的特點而得到廣泛應用。作為配套組件的背光顯示模組，為其供應充足且分布均勻的光源亮度，使得液晶面板的顯像功能能夠正常工作。液晶面板消費需求的不斷增長帶動了上游背光顯示模組和作為模組核心材料光學膜片的大量投產。

光學膜片作為背光顯示模組的核心材料，其對光線的匯聚效果決定著背光模組的效能，進而直接影響著液晶面板的顯像效果。而光學膜片對光線的匯聚效果則是由分布在其表面的陣列微結構的輪廓尺寸所決定，因而需要對微結構的輪廓尺寸參數進行檢測與管控，以滿足設計要求和確保最終液晶面板有著良好的顯像效果。

光學膜片

光學膜片工件具有尺寸大、輕薄的特點，其重心易受空氣流動而產生抖動，其表面呈透明反射率低的特征，且微結構有微棱鏡結構、微透鏡結構和金字塔結構等多種類型，均具備較大的傾角特征，整體輪廓尺寸又在微米量級因而精度要求到亞微米級。針對具有四個測量難點的光學膜片檢測需求，在微納級檢測儀器領域面臨著精度夠的角度測量能力不足、角度測量能力夠的精度無法滿足要求的窘境。

作為一家具備多款微納級3D顯微測量儀器的廠商，中圖儀器，為光學膜片的檢測，提供了專業的解決方案——VT6000共聚焦顯微鏡，搭配50×、100×高數值孔徑的APO復消色差物鏡。在測量時由于其基于鏡頭焦深的原理不會受到樣件本身輕微抖動的影響，同時高倍APO物鏡所具有的大角度測量能力搭配儀器自身納米級的掃描分辨率，能夠輕松實現透明表面微結構的3D圖像重建和輪廓尺寸的高精度測量，在下述視頻中可直觀的了解光學膜片表面微結構的測量過程。

中圖儀器，贊29

從視頻中可知，中圖儀器共聚焦顯微鏡能夠對光學膜表面微結構實現快速自動化測量，并提供高度、寬度和角度等一系列輪廓尺寸參數對表面質量進行表征，幫助客戶實現光學膜片表面質量的檢測與管控。

如下圖所示，在實現表面微結構3D圖像的高精度重建與測量的同時，共聚焦顯微鏡以其明顯優于金相顯微鏡的橫向分辨率，也能夠提供表面微結構的清晰影像圖片，幫助更細致的觀察微結構的表面特征，從圖像可知，在高倍率鏡頭下，棱鏡峰側壁的刀具磨損紋路痕跡明顯，金字塔頂和底部界限分明，微透鏡表面粒子邊緣清晰。

光學膜片表面微結構3D圖像、影像圖

隨著液晶顯示屏在朝著輕薄化、高清化的方向發展，其核心材料光學膜片也在往薄型化、高亮度化、高色域化的方向發展，屆時其表面微結構的特征尺寸也將更加多樣化和小型化，這勢必將對測量儀器提出更高的要求。中圖儀器，將不斷迭代最新的光學測量技術，不斷提升VT6000共聚焦顯微鏡的產品性能，始終滿足客戶的測量要求，為客戶提供*專業的產品方案和服務。

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