熱式氣體質量流量計如何選型

熱式氣體質量流量計是用于測量和控制氣體質量流量的儀表，區別于其它氣體流量計，不需要進行壓力和溫度修正，直接測量氣體的質量流量。

可應用于：

半導體制造行業；

分析儀器設備行業；

各種形式的真空鍍膜設備；

環境檢測與分析設備；

化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業；

特種材料表面處理裝置與燃燒；

混氣配氣系統和泄露探測系統等。

氣體質量流量計選型的時候需要注意一下幾方面問題：

1.通過的介質。氣體流量計適用于各種氣體，包括特殊氣體和腐蝕性氣體。以腐蝕性氣體為例：腐蝕性氣體通過流量計的時候如果流量計沒有經過特殊處理過，會因為腐蝕性氣體的特性，造成密封元件等方面的故障，從而影響到了流量計的正常使用，因此相關特性的介質在選型的時候需特別關注密封材料等信息，如全金屬密封，耐氨橡膠等密封材質。另外像氫氣、甲烷等可燃性氣體需注意氣體濃度過高所造成的爆點問題等等。

2.量程范圍（或者稱之為流量范圍）。在流量計選型的時候，首先要確定所需流量計的量程問題，以HORIBAMETRON（堀場匯博隆）公司產品為例：公司產品以氮氣（N2）來標定,如用其他氣體時需要進行換算，非氮氣介質時是以氮氣與該氣體轉換系數來換算以確定標定流量。

3.壓力范圍。HORIBAMETRON流量計耐壓3MPa, 壓差范圍為（0.05-0.3）MPa。3MPa以內可直接安裝使用；需注意的是有些行業需要在高壓狀態下工作，要明確壓力范圍是否滿足。

4.接口通徑。選擇接口時需針對管路狀況進行選擇，就目前而言以Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)，軟管接頭Ф4mm～Ф10mm等為主 。

5.供電電壓和控制。以HORIBAMETRON流量計而言，供電電壓有±15V和24V兩種。控制接口有9針和15針的，也有9孔和15孔的。

6.通信協議。相對于數字式流量計而言很多時候都會涉及到通信協議問題，以 MODBUS 、Profibus、DeviceNet為標準，在選擇時注意協議類型。備注（某些行業在選擇流量計時模擬控制就可滿足要求）需注意。