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上海棱光雙光束紫外分光光度計(jì)-衍射峰值測(cè)量
在410n-Si(111)襯底上生長(zhǎng)的膜層具有金剛石的多個(gè)特征衍射峰,它們分別對(duì)應(yīng)(11)、 (220)、 (311) 和(331) 的衍射,并由圖3得到進(jìn)一步證實(shí),金剛石沿襯底表面的劃痕線(xiàn)出現(xiàn),表面粗糙的襯底比拋光后的襯底[圖易于金剛石的成核生長(zhǎng)。上海棱光技術(shù)有限公司紫外分光光度計(jì)且在生長(zhǎng)過(guò)程中噴嘴與襯底距離應(yīng)嚴(yán)格控制。
改變上述生長(zhǎng)條件,觀(guān)察到石墨和碳化硅的存在。實(shí)驗(yàn)還指出:不聚焦的激光光束或聚焦后功率密度小于10mJ/cm2時(shí),都不能產(chǎn)生金剛石,這是因?yàn)樵擉w系金剛石的形成過(guò)程是一個(gè)多光子過(guò)程,需要產(chǎn)生足夠的活化基團(tuán)才行。
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