差分驅(qū)動壓電納米定位臺P16系列升級版

P16系列壓電平臺是以小體積、大位移而聞名，它的外形尺寸僅60×60×20mm，位移行程可選50μm或100μm，非常小的體積及較低的高度提供了較大的位移。

P16系列XY二維運動壓電平臺，它的中心具有φ20mm的中心通孔，非常適用于光學應(yīng)用。

近期，芯明天公司對P16系列進行了升級，對結(jié)構(gòu)和外觀進行了改善，使之更加一體化，同時，可靠性也大幅提高。

安裝接口

需帶載的負載可通過移動面上間距25mm的4個M3螺紋孔或間距16mm的4個M2螺紋孔進行固定，機械接口，安裝便捷。

驅(qū)動原理

P16系列壓電平臺是一款特別的運動平臺，它采用差分式驅(qū)動控制，雖然是二維運動，但它需要一臺具有恒壓的三通道壓電控制器驅(qū)動，這是因為它內(nèi)部每軸的運動都采用兩組壓電陶瓷差分式驅(qū)動，如下圖所示。

使用說明/位移曲線

由于差分驅(qū)動，P16壓電平臺的開/閉環(huán)位移曲線與非差分驅(qū)動式壓電平臺的會略顯不同。以150V驅(qū)動電壓為例，X軸方向的閉環(huán)位移與控制電壓的關(guān)系如下圖所示，Y軸方向的位移&電壓曲線與X軸相同。

閉環(huán)位移曲線

，在控制電壓為75V時，移動平面的位置會回到施加電壓前的初始位置。

技術(shù)參數(shù)

型號：P16.XY100S/K

運動自由度：X Y

標稱行程范圍：80或±40μm/軸@120V

行程范圍：100或±50μm/軸@150V

傳感器類型：SGS

通孔尺寸：φ20mm

閉/開環(huán)分辨率：10/5nm

閉環(huán)線性度：0.4%F.S.

閉環(huán)重復定位精度：0.1%F.S.

俯仰/偏航/滾動：<25μrad

推/拉力：30N

運動方向剛度：0.5N/μm

空載諧振頻率：400Hz

閉/開環(huán)空載階躍時間：10/1.6ms

閉環(huán)空載工作頻率：100Hz@10%行程

閉環(huán)空載工作頻率：10Hz@行程

承載能力：1.5kg

靜電容量：3.6μF/軸

材質(zhì)：鋼、鋁

重量：220g

注：P16.XY50S/K的位移范圍50μm或±25μm。

典型應(yīng)用

• 顯微成像 • 表面檢測 • 干涉 / 計量 • 精密定位 • 光學 • 微操作