壓電掃描臺應用于飛秒激光微加工

現在，各種激光器已經被廣泛應用于各個工業及醫療領域，而飛秒激光作為微加工等領域的理想光源，正逐漸引發市場的高度關注。

飛秒激光微加工的過程是將被加工的目標元件固定在壓電掃描臺上，將激光光束聚焦在準備加工的軌跡始端，調節激光能量，按照預先設計好的軌跡移動二維壓電掃描臺進行加工，由于壓電掃描臺的分辨率可達到納米級，精度非常高，所以這能大大提高飛秒激光加工系統的加工精度。

飛秒激光結合高精度壓電掃描臺加工各種材料的微加工方式，作為激光加工技術領域的一個分支越來越受到廣泛的關注。其中芯明天自主研發生產的高精度壓電掃描臺以其精度高、性能穩定等特點已被廣泛應用于激光加工領域。

芯明天P17系列二維壓電掃描臺

P17 系列壓電掃描臺是專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應用而研發設計的二維掃描臺。臺體采用機構放大設計原理，內置高可靠性壓電陶瓷，可以實現XY 軸210μm的掃描范圍，通光孔為60×60mm，內部采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構，采用有限元仿真分析優化結構，具有超高的導向精度。

特點：

· XY軸二維運動

· 位移可達210μm/軸

· 通孔尺寸60×60mm

· 分辨率達5nm

· 承載可達1kg

· 閉環重復定位精度高

推薦壓電控制器

芯明天E70系列壓電控制器，既可保證快速的響應時間，又可保證掃描臺的工作穩定性，同時，E70控制方式采用模擬與數字控制，可與計算機連接，方便操作。