閉環壓電系統之重復定位精度

閉環壓電系統也是我們所說的在壓電執行器內置位置檢測傳感器，通過外部控制器對檢測位置進行實時修正調整的壓電系統。

上一期中我們介紹了什么是閉環線性度以及如何計算線性度，本期我們來說說重復定位精度。

重復定位精度表示的是連續多次到達位置的偏差。到達位置的前提條件必須是相同的輸入電壓。閉環控制器會通過傳感反饋的信號調整驅動電壓使監測電壓與輸入電壓相同從而實現高精度閉環控制，此時多次所到位置的偏差為系統的重復精度。重復定位精度受系統預緊、驅動系統、測量系統的非線性等因素影響。

P76壓電物鏡定位器的重復精度

重復定位精度的測試方法

控制指令重復定位到任意位置，采用高精度測微儀準確測量實際到達位置，至少連續10次以上，然后根據得到測量值計算標準偏差值。

重復定位精度的重要性

在很多精密定位應用領域中，重復定位精度至關重要，比如精密車削、樣品定位、3D精密檢測等，超高的重復定位精度確保了加工、定位、檢測精度。

高重復定位精度的壓電系統在生物制藥、生命科學、醫療診斷等領域同樣發揮著非常重要的作用，比如內窺鏡三維成像、細胞三維光刻、納升配藥等。

不同壓電產品的重復性

重復定位精度只能在閉環控制系統進行檢測。芯明天全系列壓電產品均可以選擇閉環版本，實現納米級的重復定位精度。重復定位精度的高低與所選擇配置的傳感器有關，滿行程不大于1mm的微動壓電產品可選擇電阻式或電容式兩種傳感器。1mm以上大行程馬達式壓電平臺則采用的是光柵尺閉環傳感反饋。