雙頻激光干涉儀測量角度和角速度

來源：上海貝丁漢工業(yè)自動化設(shè)備有限公司 2010年09月06日 17:26

雙頻激光干涉儀測量角度和角速度

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上傳時間:	2010-7-29 14:26:51
更新時間:	2010-7-29 14:26:51
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雙頻激光干涉儀測量角度和角速度

從幾何意義上來說，角度表征了從同一點(diǎn)出發(fā)的兩條直線的方向差別。角度的復(fù)現(xiàn)是建立在圓周角等于360°的基礎(chǔ)上的。激光測角的方法很多，按照測角范圍分類，可分為：小角度測量和全角測量；按照有無合作目標(biāo)分類，可分為有靶鏡測量和無靶鏡測量；按照坐標(biāo)特征可以分為：俯仰角、偏擺角、滾動角的測量。德國耶拿爾JENAer雙頻激光干涉儀通過不同的光學(xué)鏡組件，可對機(jī)床的俯仰角、偏擺角和滾動角進(jìn)行測量。以下為垂直度（直角）測量的原理：

許多機(jī)械系統(tǒng)，如機(jī)床、測量機(jī)等都采用直角坐標(biāo)系統(tǒng)。在理想情況下X、Y、Z三個坐標(biāo)軸相互垂直。如果他們不垂直就會影響空間坐標(biāo)的精度。因此，垂直度的測量已引起廣泛的重視。測量垂直度的方法基于直線度測量，以直角方塊為基準(zhǔn)，測量兩個待測導(dǎo)軌的直線度，可以計算出兩個導(dǎo)軌的垂直度。這種測量方法的核心思想是以雙面反射鏡的角平分線為直線基準(zhǔn)（簡稱準(zhǔn)直基線）。測量垂直度時，首先將準(zhǔn)直基線調(diào)整到和待測的一個方向平行，后來的任何調(diào)節(jié)都不得變動雙面反射鏡。因此，準(zhǔn)直基線就平行于一個待測方向。這時用直角標(biāo)準(zhǔn)塊和反射棱鏡把光束轉(zhuǎn)90°，用空心四面體入射光和出射光。沃拉斯頓棱鏡放在出射側(cè)，光束從雙面反射鏡返回、合光，進(jìn)入激光器計數(shù)。四面體和沃拉斯頓棱鏡在跟隨另外一個運(yùn)動方向運(yùn)動的過程中所顯示的直線度誤差就是垂直度誤差，誤差值除以移動距離就是角度值。

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