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    電容式壓力傳感器靈敏度問題

    來源:北京歐柏儀表有限公司   2009年09月09日 14:20  

    盡量提高傳感器的電容,可以提高傳感器的靈敏度。由于幾何尺寸的限制,無論是何種型式的電容傳感器,其電容量都很小。傳感器初始電容一般在C=20~200pF,動極板相對位移量,單電容式一般取Δd/d=0.15~0.2mm,差動式為Δd/d=0.3~0.5mm.極板距離d值小至      10~20μm。極板應有較高的表面粗糙度和平整度。提高傳感器電容的另一種辦法是在極板間選用介電常數(shù)大的絕緣材料。

    傳感器的小電容量變化,注定它易受外界擾動的影響。分布電容會降低傳感器的靈敏度。為此,應盡量減小傳感器連接電纜的長度,并采用雙層屏蔽電纜,同時將電容傳感器置于金屬屏蔽罩內,并采用集成化的測量電路。

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