電子行業(yè)廠(chǎng)房無(wú)塵車(chē)間環(huán)境技術(shù)要求——潔凈度懸浮粒子檢測(cè)方法

      電子行業(yè)是一個(gè)多元化的行業(yè)，包含新能源鋰電、光伏、電路板、半導(dǎo)體、電子材料、電子產(chǎn)品等眾多領(lǐng)域。近十多年來(lái)科學(xué)技術(shù)日新月異，對(duì)于新產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切，同時(shí)對(duì)無(wú)塵凈化技術(shù)的設(shè)計(jì)和發(fā)展提出了更高的要求。
        由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格，潔凈生產(chǎn)車(chē)間環(huán)境監(jiān)測(cè)指標(biāo)應(yīng)包括溫度（℃）、濕度（%RH）、懸浮粒子、風(fēng)速、壓差、噪聲、照度、靜電、氣態(tài)分子污染物等。
        其中采用塵埃粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)受控環(huán)境中懸浮粒子數(shù)量來(lái)驗(yàn)證潔凈度等級(jí)是最關(guān)鍵的。粒子數(shù)量超出潔凈度等級(jí)所允許的限值時(shí)，將造成受控環(huán)境的異常，導(dǎo)致潔凈度等級(jí)降低，嚴(yán)重影響產(chǎn)品質(zhì)量。


 
懸浮粒子測(cè)試方法：
1、室內(nèi)測(cè)試人員必須穿潔凈服，不得超過(guò)2人，應(yīng)位于測(cè)試點(diǎn)下風(fēng)側(cè)并遠(yuǎn)離測(cè)試點(diǎn)，并應(yīng)保持靜止。進(jìn)行換點(diǎn)操作時(shí)動(dòng)作要輕，應(yīng)減少人員對(duì)室內(nèi)潔凈度的干擾。
2、檢測(cè)前和檢測(cè)后設(shè)備按照標(biāo)準(zhǔn)要求進(jìn)行“清零"自?xún)簟?br/>


3、在單向流區(qū)域，所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動(dòng)力采樣，進(jìn)入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過(guò)20%。若無(wú)法做到這一點(diǎn)，將采樣口正對(duì)氣流的主方向。非單向流的采樣點(diǎn)，采樣口應(yīng)豎直向上。
4、采樣口至粒子計(jì)數(shù)器的連接管應(yīng)盡量短。



5、采樣點(diǎn)一般離地面0.8-1.5m左右，要均勻科學(xué)布點(diǎn)，而且要避開(kāi)回風(fēng)口。對(duì)任何小潔凈室或局部空氣凈化區(qū)域，采樣點(diǎn)的數(shù)目都不得少于2個(gè)，按照法規(guī)標(biāo)準(zhǔn)ISO14644及GB16292等內(nèi)容中執(zhí)行，最少采樣點(diǎn)數(shù)目對(duì)應(yīng)懸浮粒子采樣點(diǎn)數(shù)，關(guān)鍵設(shè)備或關(guān)鍵工作活動(dòng)范圍處可增加測(cè)點(diǎn)。
6、按照ISO14644法規(guī)、GB25915法規(guī)、GB16292法規(guī)標(biāo)準(zhǔn)等內(nèi)容進(jìn)行測(cè)試，用戶(hù)根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)的測(cè)試方法進(jìn)行采樣點(diǎn)數(shù)量、采樣次數(shù)、每個(gè)點(diǎn)采樣量（即計(jì)算采樣時(shí)間）確認(rèn)好相關(guān)要求，即可逐步進(jìn)行粒子潔凈度的監(jiān)測(cè)，測(cè)試結(jié)果對(duì)照法規(guī)等級(jí)表進(jìn)行確認(rèn)是否合格。
 

 
粒子計(jì)數(shù)器引用標(biāo)準(zhǔn)如下：
《國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境》 ISO 14644-1:2015
《醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)》 GB 50457
《食品工業(yè)潔凈用房建筑技術(shù)規(guī)范》 GB50687
《潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范》 GB 50073
《電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范》 GB 50472
《醫(yī)藥工業(yè)懸浮懸浮粒子測(cè)試方法》 GB/T16292
《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》 GB 50591
《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境》 GB 25915
 
國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)潔凈廠(chǎng)房潔凈設(shè)計(jì)規(guī)范與國(guó)際標(biāo)準(zhǔn) ISO 數(shù)據(jù)對(duì)照