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2020 · 半導體產業(yè)
2020年注定是不平凡的一年，不僅僅是新guan的肆虐，也因為國內外貿易爭端加劇，對某些中國企業(yè)是一大挑戰(zhàn)，同時也是一大機遇，將刺激我國對于芯片等半導體產業(yè)的重視，同時賽默飛也將致力于幫助客戶解決當中遇到的問題。
集成電路（Intergrated Circuit）又稱芯片，是一種微型電子器件，是把電路（包括半導體裝置、元件）小型化、并制造在半導體晶圓表面上形成的具有所需電路功能的微型結構。
在半導體行業(yè)中對離子的污染非常敏感
感
超過80%的制作工序都需要用到純水，對于不同級別的生產線而言，對純水的質量要求也不盡相同，限度跨度從ppt—ppb。
ASTM D5127-13 Standard Guide for Ultra-Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industries
同時芯片的生產過程中會使用到很多試劑，如硫酸、氨水等，而這些試劑揮發(fā)到空氣中會對芯片造成晶體缺陷、霧狀缺陷等，因此：
監(jiān)控環(huán)境空氣和超純水中離子的含量是非常必要的
你知道嗎
那么大家知道，空氣中與超純水中的雜質離子含量這么低，通過什么手段實現檢測呢？賽默飛離子色譜ICS-6000選配AM模塊通過大體積濃縮進樣，可輕松實現如上要求，*可以達到芯片生產過程中對環(huán)境與水的控制。
ICS 6000雙系統(tǒng)，直接進樣分析，可同時在線檢測超純水中痕量（>50ppt）陰陽離子。
ICS 6000雙系統(tǒng)
直接進樣流路圖
1配置AS-HV以后的ICS 6000
可實現大體積濃縮進樣，從而進一步提高靈敏度降低檢出限（<20ppt），通過大定量環(huán)進樣品，小定量環(huán)進標準品，也大大降低了痕量分析的操作門檻。
ICS 6000配備AS-HV
大小環(huán)進樣流路圖
2可選配IC Pure在線純水機
在線制備離子色譜分析過程中所需超純水，從而給淋洗液提供更純的水源。
IC Pure在線純水機
3配備空氣采樣器
由真空泵以恒定流速抽取環(huán)境空氣，超純水吸收空氣中陰陽離子后上離子色譜檢測。根據抽取時間與流速從而計算抽取空氣體積，得出空氣中離子含量。
空氣采樣器
那么實際效果如何呢？請看如下兩張譜圖：
常規(guī)陰離子譜圖（1-10ppt）
常規(guī)陽離子譜圖（20ppt）
賽默飛離子色譜全流程解決方案
ICS 6000高壓離子色譜
ICS-6000高壓離子色譜是一款可實現陰陽離子同時分析的高壓離子色譜系統(tǒng)，高壓梯度提供了高分離度與高重復性。同時配有賽默飛*耐高壓Viper管線，*的力矩設計，無需輔助工具，手動自如實現裝卸，簡單方便。
耗材監(jiān)控識別功能
自動識別并追蹤 IC 耗材的安裝時間、使用情況和性能指標。其可防止耗材安裝錯誤，安排預防性維護時間，管理耗材使用情況，可同時監(jiān)測多達 25 種不同耗材的 16 余項關鍵性能指標。從而可以根據產品性能指標和生產質量保證數據驗證耗材的性能。
淋洗液自動發(fā)生器
ICS-6000 配備RFIC-EG（淋洗液自動發(fā)生器），淋洗液發(fā)生灌以的濃度電解生成高純度氫氧化鉀（KOH）或甲磺酸（MSA）淋洗液。該設備的淋洗液與再生液僅要求使用高純度去離子水即可，從而實現零系統(tǒng)空白。同時RFIC-EG 模塊可控制等度或梯度條件，提供的方法重現性和準確度。
DC溫控
ICS-6000溫控系統(tǒng)分為上下兩部分且可單獨控溫，上部分控制檢測單元，下部分控制進樣閥與色譜柱，溫度全部覆蓋，穩(wěn)定性更佳。
ICS 6000 DC模塊
自 1975 年以來，我們一直致力于離子色譜（IC）技術的開發(fā)與創(chuàng)新，包括儀器、化學分離、抑制器和軟件。作為業(yè)界領導zhe，我們通過分享已知信息努力為您的實驗室提供支持，充當值得信賴的顧問，并提供您所需要的服務和支持。我們所做的一切支持并認可您和您的使命，確保世界更健康、更清潔、更安全。
Thermo Scientific™ Dionex™ ICS-6000 離子色譜儀
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