同位素質譜儀是專為連續流技術設計的同位素比質譜儀。經過多年的發展，此質譜儀已成為高準確度和精度的質譜儀之一。配以多樣化的自動制樣單元可靈活的適應不同應用領域，全面測量C,H,O,N,S. 可以連續流方式可測量2H的質譜儀。適用于地質年代測定(如構造變形、火山噴發、變質作用、沉積作用、巖體冷卻、山體抬升、盆地沉降)，以及海水、有機物及巖體中惰性氣體He等的分析。

　　同位素質譜儀的選購技巧：

　　一、靈敏度，靈敏度一般說成是幾個CO2分子可轉變為一個CO2離子，正常這個值越小越好。

　　二、精度，像參考氣體的精度，就是連續的進幾次參考氣，看其精度為多少，一般這個都沒問題。更為關鍵的是聯用時候的精度，比如聯接同位素質譜的精度，GC聯同位素質譜的精度。同位素質譜儀作為一個聯用儀器，每一個部分都很重要，因為反映的是一個整體的性能。測試精度其實就是通常我們說的重現性，只是同位素質譜需要反映微小的差異，在這里就說成精度了。

　　三、線性，通常說的就是在多大的質量范圍內，該C13/C12（或者其他）的值是一個相對穩定的值，要不然你需要將質量或者進一步說含量湊到該范圍，才能得到一個穩定的值。線性范圍大的話，其操作會更加方便，顯得更為重要，因為更難計算。好像在這里面由放大器線性范圍反映的。

　　四、其他，同時分析幾種離子當然更好，這樣一下數據都出來了。

　　還需要注意的是，每一個儀器部分，在樣品準備，同位素質譜儀進樣過程等方面是否可以做到更好，更無污染等。