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  • 北京中慧天誠(chéng)科技有限公司
    初級(jí)會(huì)員 | 第9年

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    兩探針?lè)y(cè)量橫截面尺寸

    時(shí)間:2025/6/17閱讀:129
    分享:
    兩探針電阻率測(cè)試儀是按照SEMI MF397-1106(用兩探針測(cè)量電阻率的測(cè)量方法)“兩探針?lè)?的要求。適用于測(cè)量橫截面尺寸是可測(cè)量的,棒的長(zhǎng)度與橫截面MAX尺寸之比不小于3:1。橫斷面為圓形、正方形、長(zhǎng)方形或梯形的單晶或多晶錠。由于兩探針?lè)ǖ臏y(cè)量電流是從長(zhǎng)棒兩端進(jìn)出,遠(yuǎn)離電壓測(cè)量探針,因此電流流過(guò)金屬與半導(dǎo)體接觸處產(chǎn)生的許多副效應(yīng)(如珀?duì)柼?yīng)、塞貝克效應(yīng)、少子注入效應(yīng)等)。
    儀器是由電氣測(cè)量、測(cè)試臺(tái)及兩探針頭組成。儀器具有精度為0.05%的恒流源以及雙數(shù)字表,在測(cè)量電阻率的同時(shí),另一塊數(shù)字表監(jiān)測(cè)電流變化,儀器還配有恒流開(kāi)關(guān),儀器測(cè)量軟件配合探頭在硅棒上移動(dòng)測(cè)量,自動(dòng)計(jì)算多點(diǎn)的電阻率、正反向電阻率平均值、電阻率的MAX值、電阻率MIN值,MAX百分變化,測(cè)量數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)庫(kù)中,可查詢(xún)測(cè)量數(shù)據(jù)或按條件查詢(xún);提供打印及導(dǎo)出格式供選擇。
    規(guī)格參數(shù):
    測(cè)量范圍
    硅晶體電阻率:0.005-10000Ω·cm
    硅棒尺寸:長(zhǎng)300mm、直徑20mm(可按要求更改)
    恒流源
    輸出電流:DC0.001-100mA,五檔可調(diào)
    量程范圍:0.001-0.01mA(1-10μA)、0.01-0.1mA(10-100μA)、0.1-1.0mA、1.0-10mA、10-100mA
    恒流精度:±0.05%
    直流數(shù)字電壓表
    測(cè)量范圍:0-199.99mV
    靈敏度:10μV
    兩探針頭
    探針間距:1.59±0.01mm
    探針直徑:Φ0.8mm
    游移率:<0.2%
    探針材料:硬質(zhì)合金
    探針壓力:3±1N/單針
    供電電源:AC 220V±10%,50/60Hz
    功率范圍:12W
    環(huán)境溫度:23±2℃

    兩探針電阻率測(cè)試儀ρ:0.005~50000Ω•cm

    型號(hào):GDS/KDY-2(磷 硼棒)


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