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  • 北京中慧天誠科技有限公司
    初級(jí)會(huì)員 | 第9年

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    紅寶石探針頭指南

    時(shí)間:2023/2/14閱讀:277
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    一、特點(diǎn)
    1、 使用幾何尺寸%,的紅寶石軸套,確保探針間距的恒定、準(zhǔn)確。
    2、 控制寶石內(nèi)孔與探針之間的縫隙不大于6μm,,探針的小游移率。
    3、 采用的S型懸臂式彈簧,使每根探針都具有%立、準(zhǔn)確的壓力。
    4、 量具精度的硬質(zhì)合金探針,在寶石導(dǎo)孔內(nèi)穩(wěn)定運(yùn)動(dòng),持久耐磨。
    二、用途
    1、 測量硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率,測定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻。
    2、 測量導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻。
    三、探針間距
    1、 直線四探針…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm
    2、 方形四探針…………… 1.00mm
    3、 直線三探針…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm
    4、 兩探針    …………… 1.00mm、1.59mm、4.76mm、10.00mm
    四、,指標(biāo)
    1、 游移率  
                       B,…………… <0.5%
                       A,……………<0.3%
                       AA,………… <0.2%
                       AAA,…………<0.1%
    2、 間距偏差 
                       B,…………… <3%
                       A,…………… <2%
                       AA,…………  <2%
                       AAA,………… <1%
    3、 ,針與導(dǎo)孔間隙:0.006mm
    4、 探針材料:硬質(zhì)合金(主成份:進(jìn)口碳化鎢)或高速鋼
    5、 探針壓力      標(biāo)準(zhǔn)壓力:6—10N(4根針總壓力)
                            小壓力:1.2—5N(4根針總壓力)    
                            1牛頓(N)=101.97克
    6、 針尖壓痕直徑:25—100μm、100—250μm(簿層)
    7、 500V,緣電阻:>1000MΩ

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