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    紅寶石探針頭指南

    時間:2023/2/14閱讀:276
    分享:

    一、特點
    1、 使用幾何尺寸%,的紅寶石軸套,確保探針間距的恒定、準確。
    2、 控制寶石內孔與探針之間的縫隙不大于6μm,,探針的小游移率。
    3、 采用的S型懸臂式彈簧,使每根探針都具有%立、準確的壓力。
    4、 量具精度的硬質合金探針,在寶石導孔內穩定運動,持久耐磨。
    二、用途
    1、 測量硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率,測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻。
    2、 測量導電玻璃(ITO)和其它導電薄膜的方塊電阻。
    三、探針間距
    1、 直線四探針…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm
    2、 方形四探針…………… 1.00mm
    3、 直線三探針…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm
    4、 兩探針    …………… 1.00mm、1.59mm、4.76mm、10.00mm
    四、,指標
    1、 游移率  
                       B,…………… <0.5%
                       A,……………<0.3%
                       AA,………… <0.2%
                       AAA,…………<0.1%
    2、 間距偏差 
                       B,…………… <3%
                       A,…………… <2%
                       AA,…………  <2%
                       AAA,………… <1%
    3、 ,針與導孔間隙:0.006mm
    4、 探針材料:硬質合金(主成份:進口碳化鎢)或高速鋼
    5、 探針壓力      標準壓力:6—10N(4根針總壓力)
                            小壓力:1.2—5N(4根針總壓力)    
                            1牛頓(N)=101.97克
    6、 針尖壓痕直徑:25—100μm、100—250μm(簿層)
    7、 500V,緣電阻:>1000MΩ

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