東莞祥興儀器有限公司
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SWIM-1510MS干涉儀掃描白光干涉顯微儀產品特點及用途結合光學顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結合顯微物鏡與干涉儀、不需要復雜光調整程序，兼顧體積小、納米分辨率、易學易用等優點，可提供垂直掃描高度達400um的微三維測量，適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測
SWIM-1510MS干涉儀
掃描白光干涉顯微儀
產品特點及用途
結合光學顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結合顯微物鏡與干涉儀、不需要復雜光調整程序，兼顧體積小、納米分辨率、易學易用等優點，可提供垂直掃描高度達400um的微三維測量，適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測。應用領域包含：
● 晶體（Wafer）
● 光盤/硬蝶（DVD Disk/Hard Disk）
● 平面電組件（MEMS Components）
● 平面液晶顯示器（LCD）
● 高密度線路印刷電路板（HDI PCB）
● IC封裝（IC Package）
以上其它材料分析與組件微表面研究
專業級的3D圖形處理與分析軟件（Post Topo）
● 提供多功能又具親和接口的3D圖形處理與分析
● 提供自動表面平整化處理功能
● 提供高階標準片的軟件自校功能
● 深度/高度分析功能提供線型分析與區域分析等兩種方式
● 線型分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度（Rorghness）與起伏度
（waviness）的測量分析。可提供多達17種的ISO量測參數與4種額外量測數據
● 區域分析方式提供圖形分析與統計分析。
具有平滑化、銳化與數字過濾波等多種二維快速利葉轉換（FFT）處理功能。
● 量測分析結果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本文件格式輸出
高速精密的干涉解析軟件（ImgScan）
● 系統硬件搭配ImgScan前處理軟件自動解析白光干涉條紋
● 垂直高度可達0.1nm
● 高度的分析算法則，讓你不在苦候測量結果
● 垂直掃描范圍的設定輕松又容易
● 有10X、20X、50X倍率的物鏡可供選擇
● 平臺XYZ位置數顯示，使檢標的尋找快速又便利
● 具有手動/自動光強度調整功能以取得的干涉條紋對比
● 具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測量模式供選擇
● 具有的解析算法則可處理半透明物體的3D形貌
● 具有自動布補點功能
● 可自行設定掃描方向
檢測范例
技術規格參數
型號 SWIM 1510MS
系統配備 顯微鏡、掃描控制器、移動平臺、取得單元、個人計算機
顯微鏡 單眼顯微鏡（標準配件）
干涉物鏡（選配） 放大率 視野（mm） 光學分辨率（nm）
10X 0.5 1.12
20X 0.25 0.84
50X 0.1 0.61
影像縮放 1.0X（標配） 0.5X（選配）
垂直掃描控制器 掃描范圍
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掃描分辨率
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掃描模式
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光強度調整
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掃描速度 100 μm 400 μm(選配)
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0.1nm
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自動
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自動/手動
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12nm/s（）
樣品移動平臺 X、Y平面多動平臺
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Z軸移動平臺
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位置數字顯示單元
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偏移調整平臺 150mm*100mm,手動（標準配件）
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80mm, 手動(標準配件)
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三軸光學尺與三軸數字顯示器（分辨率1 μm）
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手動
取得單元 影像傳感器
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感測器解析度 面型CCD（標準配件）
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640*480圖像(標準配件)
電腦配件 Pentium-Computer,17" LCD Monitor ,120G以上硬盤
分
析 軟 體 MS-Windows相容的資料擷取與分析軟體 包含ISO粗糙度/階高分析,快速付利葉轉換和濾多，多樣的2D和3D觀測視角圖,外形分析,圖像縮放,標準影像檔案格式轉換等等
階高標準片(選配) 50nm 170nm 230nm 470nm 1800nm
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