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熱式氣體質量流量控制器
型號；LDX-S48 32/HMT
編號 | 項目 | S48 32/HMT |
1 | 流量規格 | (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (1,2,3,5,10,20,30)L/min |
2 | 調節閥類型 | 電磁調節閥 |
3 | 調節閥靜止狀態 | 常閉 |
4 | 安裝方向 | 任意 |
5 | 流量控制范圍 | 2%- |
6 | 流量測量范圍 | (0-100)% |
7 | 零點溫漂 | 0.6%F.S.(15~35℃) |
8 | 響應時間 | 2s(T98,設定值的±2%F.S.) |
9 | 工作環境溫度 | 5~50℃ |
10 | 精度保證溫度 | 15~35℃ |
11 | 精度 | ±1.0%F.S |
12 | 線性 | ±0.5%F.S |
13 | 重復精度 | ±0.2%F.S |
14 | 工作壓差范圍 | ~5L/min:(0.05-0.3)MPa 10L/min~30L/min:(0.1-0.3)MPa |
15 | 耐壓 | 3MPa |
16 | 漏率 | 1×10-8Pa.m3/s(He) |
17 | 管路接頭 | 1/4″Swagelok,Φ6mm-Φ10mm |
18 | 供電電源 | ±15VDC(±5%) ＋15V,100mA;－15V, 200mA |
19 | 設定信號 | (0-5)VDC 輸入阻抗>1MΩ |
20 | 流量輸出信號 | (0-5)VDC 負載輸出電流能力≤3mA |
21 | 電氣接頭 | D-SUB15 |
22 | 尺寸 (mm) | 113（寬）×121（高）×32（厚） |
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