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當前位置：四方光電（武漢）儀器有限公司>>氣體分析傳感器>> Gasboard-2061紅外氣體傳感器 半導體行業(yè)薄膜沉積工藝
產(chǎn)品名稱：紅外氣體傳感器
產(chǎn)品型號：Gasboard-2061
紅外氣體傳感器產(chǎn)品概述
紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內(nèi)常見預留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。
紅外氣體傳感器產(chǎn)品特性
（1）使用NDIR技術(shù)，多氣體監(jiān)測支持(WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)
（2）響應時間快，高靈敏度
（3）無耗材
（4）模擬/數(shù)字通信
（5）模塊化設(shè)計，便于集成
紅外氣體傳感器技術(shù)參數(shù)
| 檢測原理 | NDIR |
| 檢測氣體 | WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 |
| 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
| 重復性 | ±0.5% |
| 線性 | ±1%F.S. |
| 檢測限 | 1ppm |
應用領(lǐng)域
半導體行業(yè)薄膜沉積工藝CVD設(shè)備的EPD氣體檢測
