KW-4A/KW-4B勻膠機
英文叫SpinCoater或者SpinProcessor，又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機。
KW系列勻膠機適應于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點，并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配無油真空泵一起使用。
目前型號有KW-4A型，KW-5型與新型號KW-4B型。
基于中科院微電子所技術升級改造
產品主要特點：
1、開關電流調速，穩定性能更好，轉速調節以數字顯示為準。
2、轉速在500～8000轉／分范圍內非常穩定。
3、采用雙轉速。在啟動之后，先以低速運轉，使膠攤開，然后自動轉換到高速運轉。兩種轉速及相應的時間分別可調，時間分別控制在1～18秒和3秒～1分鐘。
4、具有定時功能。
5、測速采用光電的辦法，產生光電脈沖，由晶體分頻測速準確性高。
6、”吸片”采用電磁閥控制氣路，一個氣泵可同時帶幾臺勻膠機工作，適合流水線的工藝，提高了效率。
7、在安裝結構上，采取了減振措施，保證了在運轉時噪音低。
性能指標：
KW-4A型勻膠機
1、調速范圍和勻膠時間
Ⅰ檔 調速范圍：500-2000轉／分 Ⅰ檔 勻膠時間：2-18秒
Ⅱ檔 調速范圍：1300-8000轉／分 Ⅱ檔 勻膠時間：3-60秒
2、適用：Φ5-Φ120mm硅片及其它材料等勻膠。
3、LED數字顯示，轉速穩定度：±1％，膠的均勻性：±3％。
4、電機功率：40W，單相220V供電
5、真空泵抽氣速率≥60升／分
6、體積小，重量輕，操作簡便
7、KW-4A型勻膠機新增功能：1.按鍵互鎖防止飛片。2.面板控制泵的開關。3.帶顯示功能
儀器尺寸：210×220×160mm
型KW-4B型(KW-4A型升級版)勻膠機
1、調速范圍和勻膠時間
Ⅰ檔 調速范圍：50-9000轉／分 Ⅰ檔 勻膠時間：1-999秒
Ⅱ檔 調速范圍：50-9000轉／分 Ⅱ檔 勻膠時間：1-999秒
2、適用：Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等勻膠。
3、雙LED數字顯示，帶顯示功能，采用閉環調節方式，轉速穩定度：±0.5％，膠的均勻性：±1％。
4、單按鍵控制電機啟動，暫停，復位，單片機延時控制電磁閥啟動與停止。
5、電機功率：40W，單相100-240V供電
6、真空泵抽氣速率≥60升／分
7、機身采用不銹鋼材質，體積小，重量輕，操作簡便
儀器尺寸：210×220×160mm
KW-5型勻膠機
1、調速范圍和勻膠時間
Ⅰ檔 調速范圍：500-1000轉／分 Ⅰ檔 勻膠時間：2-18秒
Ⅱ檔 調速范圍：1000-5000轉／分 Ⅱ檔 勻膠時間：3-60秒
2、適用：Φ100-Φ200mm（4”～8”）硅片及其它材料等勻膠。
3、LED數字顯示，轉速穩定度：±1％，膠的均勻性：±5％。
4、電機功率：180W，三相380V供電
5、真空泵抽氣速率60升／分
6、設備尺寸：500×500×460mm
