SMC真空組件有四個系列

 帶真空過濾器及消音器，還有帶真空計或真空壓力開關、供給閥、破壞閥的形式。噴嘴直徑為1.2mm。當供給壓力為0.4MPa時，極限真空度為84kPa，大吸入流量為100/min（ANR）。新型ZL212系列的3段接收管由上下兩個重疊成一體，大吸入流量可達200/min（ANR）。

SMC真空組件有四個系列：ZM、ZX、ZR、ZL。

SMC ZM系列真空組件采用一體化結構，故結構緊湊、薄（厚度僅為15.5mm）、輕（多組合400g）。因配管、配線、指示及調整旋鈕等全裝在側面，故可以多個組件集裝在一起，便于維護。因為吧真空發生器的接收管設計成前后兩個抽吸口，除保證大真空度達84kPa外，大吸入流量可增大40%。SMC ZM系列真空組件多可集裝10個。供氣口有單獨供氣和集中供氣兩種，排氣口為集中排氣式。

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