1、真空泵的極限壓強
泵的極限壓強單位是PA，這個是指泵在入口的地方裝有標準試驗罩并按規定條件工作，在沒有引入氣體正常工作的情況下，趨向比較穩定的低壓強。
2、真空泵的抽氣速率
泵的抽氣速率單位是M3/S或L/S，是指泵裝有標準試驗罩，并且按照規定條件工作的時候，從試驗罩流過的氣體流量跟在試驗罩位置測得的平衡壓強之比。簡稱泵的抽速。
3、真空泵的抽氣量
真空泵的抽氣量單位是PA M3/S或PA L/S。就是指泵入口的氣體流量。
4、真空泵的起動壓強
真空泵的起動壓強單位為PA，它就是指泵無損壞起動并有抽氣作用時的壓強。
5、泵的前級壓強
真空泵的前級壓強單位是PA，它是指排氣壓強低于一個大氣壓的真空泵的出口壓強。
6、真空泵的大前級的壓強
真空泵口大前級壓強單位是PA，它就是指超過了能夠使泵損壞的前級壓強。
7、真空泵的大工作壓強
真空泵的大的工作壓強單位是PA，它就是指對應大抽氣量的入口壓強。在此壓強下，泵能夠連續工作而不惡化或者損壞。
8、壓縮比
壓縮比是指泵對給定氣體的出口壓強與入口壓強之比。
9、何氏系數
泵抽氣的通道面積上面的實際抽速與該處按分子瀉流計算的理論抽速之比。
10、抽速系數
泵的實際抽速與泵入口處按分子瀉流計算的理論抽速之比。
11、返流率
泵的返流率單位是G/CM2.S。它就是指泵按照規定條件工作的時候，通過泵入口單位面積的泵流的質量流率。
12、水蒸氣允許量
水蒸氣的允許量單位是KG/H，它就是指泵在正常環境條件下，氣鎮泵在連續工作的時候能夠抽除的水蒸氣質量流量。
13、大允許水蒸氣入口壓強
大允許水蒸氣的入口壓強單位是PA 。它就是指在正常環境條件下面，氣鎮泵在連續工作時所能抽除的水蒸氣的高入口壓強。
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