MEMS（微電子機(jī)械系統(tǒng)）壓力傅感器技術(shù)

應(yīng)變片是分子式地分布在金屬隔膜表面，使用無機(jī)材料及高溫，當(dāng)溫度減少時，無機(jī)粘合才料會固伐，確保矽應(yīng)變片在傳感器的*位置上面，這樣就做成了一個單片式傳感元件。

為何要使用邦定?技術(shù)？

把傳感器膜片形度控制在小於其屈服強(qiáng)度的15%，使得 AST傳感器膜片減少勞損，從而增加了傳感器的使用壽命，提高了超壓和極限破壞壓力的能力，增加了長期工作的穩(wěn)定性。一個簡單例子是對一個氣球進(jìn)行充氣和放氣若干次，可以看到氣球壁的厚度決定其復(fù)原能力。球壁越厚，復(fù)原能力越強(qiáng)，當(dāng)感應(yīng)膜片在壓力下產(chǎn)生變形時"邦定"技術(shù)保證感應(yīng)膜片不受壓力以外的壓力影響，自由地因壓力而產(chǎn)生變動，這個過程象氣球，自行車胎，氣車輪胎等。充氣時壓力原理相同。

通過使用無機(jī)材料來溶接應(yīng)變片到隔膜上的工藝中對壓力感應(yīng)元件來說，實際上是可以長期保存的。AST的應(yīng)變片也會產(chǎn)生具有低熱誤差的高度輸出信號。

很典型的壓力傳感器包括了一個壓力螺紋接口，六角和隔膜。AST的所有這叁個無元件都屬於一個元件。金屬 有個機(jī)床加工出來的形狀和有個內(nèi)孔介質(zhì)是*包含在敏感元件里。一些傳感器技術(shù)用一個O形圈固定住陶瓷隔膜，使用縫隙里充滿油到變送器里，或把隔膜焊接到壓力口。"邦定"簡單地用一種材料，并且無 漏路徑發(fā)生。通過用單片材料設(shè)計壓力傳感器單元。AST消除弱點和污染的危險。

AST傳感器可以隔離500V交流絕以緣是理想的控制系統(tǒng)應(yīng)用器件，并且得到CSA認(rèn)證。

邦定?技術(shù)可以用在不同的材料，例如17 -4PH，316L，718鉻鎳鐵合金和鈦等材料，設(shè)計制造各種 寸，滿足用戶需求，對於酸性氣體，MEMS技術(shù)可以滿足不同的個質(zhì)要求。