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冷鏡式露點儀是用于關鍵點測量和控制的高精度儀表。冷鏡儀表的基本特性使該類產品既可以用于需要特別可靠和穩定的現場測量，也可以作為校驗其他設備的實驗室標準。密析爾冷鏡傳感器的工作模式和露點的基本定義保持一致， 屬于基準的測量原理。
帕爾貼半導體電熱制冷元件對一個微型的不銹鋼拋光鏡面進行降溫，一直降到被測氣體的露點為止。一旦達到該溫度點，鏡面表面會形成結露。一個光電回路用來監測結露的形成，根據從鏡面的反射光強的降低情況，對冷鏡儀表進行電路控制，從而調整帕爾貼的制冷功率。
就這樣，鏡面會控制在一個動態平衡狀態，此時的蒸發和冷凝速率*相同。該狀態下的鏡面溫度（用一鉑電阻溫度計測量得到）就等同于氣體的露點溫度。
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