英文名：Sulfuric Acid，分子式：H₂SO₄，硫的重要的含氧酸，無水硫酸為無色油狀液體，10.36℃時結(jié)晶，沸點338℃，相對密度為1.84。硫酸是一種活潑的二元無機強酸，能和絕大多數(shù)金屬發(fā)生反應(yīng)。高濃度的硫酸有強烈吸水性，可用作脫水劑，碳化木材、紙張、棉麻織物及生物皮肉等含碳水化合物的物質(zhì)。與水混合時，亦會放出大量熱能。其具有強烈的腐蝕性和氧化性，故需謹(jǐn)慎使用。

*，電子級硫酸又稱高純硫酸、超純硫酸，屬于超凈高純試劑，是一種微電子技術(shù)發(fā)展過程中*的關(guān)鍵基礎(chǔ)化學(xué)試劑。目前廣泛應(yīng)用于大規(guī)模集成電路(IC)、半導(dǎo)體等微電子工業(yè)，用作清洗和蝕刻劑.隨著中國微電子工業(yè)的高速發(fā)展，電子級硫酸的需求量日益增加，供不應(yīng)求，電子級硫酸有著良好的應(yīng)用前景.

電子級硫酸主要應(yīng)用于電子硅晶片生產(chǎn)過程的清洗和蝕刻。

硅圓片在加工過程中，常常會被不同的雜質(zhì)所沾污，可引起大規(guī)模集成電路產(chǎn)率下降50%左右。硅圓片上不溶性固體顆粒或金屬離子可能在微細(xì)電路之間導(dǎo)電，使之短路，幾個金屬離子或灰塵足以使線寬較小的大規(guī)模集成電路報廢。