傳統(tǒng)的天然氣流量計主要采用容積計量，容易受天然氣壓力和溫度的影響，而且不能反映天然氣的成分變化(質(zhì)量變化)。熱式氣體質(zhì)量流量計另外，現(xiàn)有計量儀表不能很好地計量出較小的流量，對較大的流量又存在飽和等問題，嚴重影響了計量的準確性。

本文介紹一種根據(jù)傳熱原理熱式氣體質(zhì)量流量計，基于MEMS技術的傳感器系統(tǒng)。利用MEMS技術設計的傳感器系統(tǒng)體積小、測量準確度高、誤差小，可以測量管道內(nèi)氣體的質(zhì)量流量。通過FLUENT仿真技術對流場進行仿真，通過對傳感器不同插入位置的仿真，找到管道內(nèi)的測量位置，并通過實驗驗證仿真結(jié)果，保證仿真結(jié)果的準確性，提高傳感器的測量準確度。

熱式氣體質(zhì)量流量計設計原理

熱式氣體質(zhì)量流量計的測量原理多種多樣，本文介紹的是一種采用熱擴散原理，基于金氏定律，結(jié)合現(xiàn)代微電子技術，設計出的新型的熱式氣體質(zhì)量流量計。

熱式氣體質(zhì)量流量計有兩個分別置于氣流中的鉑電阻溫度傳感器探頭S1和S2，其中探頭S1測氣體氣流溫度Tf，另一探頭S2置于恒熱源旁邊，檢測被氣體帶走熱量后的溫度Tw。當氣體流態(tài)穩(wěn)定時，探頭與周圍介質(zhì)處于近似熱平衡狀態(tài)。

利用傳熱學理論，結(jié)合熱式氣體質(zhì)量流量計工作的場合，對于實際熱交換過程，對流換熱Q1是整個熱交換過程的關鍵，在誤差允許的范圍內(nèi)，導熱量Q2和輻射熱量Q3均可忽略不計。

保持溫度差不變，通過測量熱式氣體質(zhì)量流量計電壓U便可得到氣體的質(zhì)量流量。