在化學(xué)，電子，電力，金屬和其他工業(yè)中，為了實(shí)現(xiàn)各種材料的保護(hù)或裝飾，通常使用噴涂，有色金屬覆蓋，磷化和陽(yáng)極氧化。這樣，涂層，鍍層，覆層，粘貼或化學(xué)產(chǎn)生的膜的概念被稱為“涂層”。包層的厚度測(cè)量已成為金屬加工行業(yè)用戶進(jìn)行成品質(zhì)量檢查所需的重要過(guò)程，并且是滿足高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的手段。目前，涂層的厚度通常根據(jù)國(guó)內(nèi)外統(tǒng)一的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行測(cè)量。隨著材料物理性能研究的逐步發(fā)展，涂層的無(wú)損檢測(cè)方法和儀器的選擇變得越來(lái)越重要。
一六測(cè)厚儀的基本工作原理是，當(dāng)測(cè)量頭與被測(cè)圖案接觸時(shí)，測(cè)量頭裝置產(chǎn)生的高頻電磁場(chǎng)會(huì)使測(cè)量頭下方的金屬導(dǎo)體產(chǎn)生渦流，其幅度和相位是導(dǎo)體和探頭之間非導(dǎo)電涂層厚度的函數(shù)。即，由渦電流產(chǎn)生的交變電磁場(chǎng)將改變探針參數(shù)，并且探針參數(shù)變量的大小以及電信號(hào)轉(zhuǎn)換處理可以獲得待測(cè)涂層的厚度。那么，影響其測(cè)量精度的原因是什么呢？
1、當(dāng)覆蓋層的厚度大于25μ時(shí)，誤差大約與覆蓋層的厚度成正比；
2、金屬的電導(dǎo)率對(duì)測(cè)量有影響，它與金屬材料的組成和熱處理方法有關(guān)；
3、一六測(cè)厚儀要求母材具有臨界厚度，只有厚度大于該厚度時(shí)，測(cè)量才不會(huì)受到母材厚度的影響；
4、測(cè)厚儀在圖案測(cè)量上有一個(gè)邊緣，即在圖案的邊緣或內(nèi)角附近的測(cè)量是不可靠的；
5、樣品的曲率對(duì)測(cè)量有影響，并且隨著曲率半徑的減小，這種影響將顯著增加；
6、母材和覆蓋層的表面粗糙度影響測(cè)量的準(zhǔn)確性和粗糙度，影響會(huì)增加；
7、一六測(cè)厚儀對(duì)防止探針接觸覆蓋層表面的粘附物質(zhì)敏感，因此在測(cè)量之前應(yīng)清除探針和覆蓋層表面上的污垢；保持探頭和測(cè)試表面在恒定壓力下垂直接觸。
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