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HA900高速數(shù)字控制器

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產(chǎn)品簡介

實(shí)現(xiàn)1秒40次的超高速反饋控制！精度±０.１％、可添加2通道控制處理、多存儲(chǔ)功能（通過利用設(shè)定變化率限幅器、區(qū)域鏈接、滲透時(shí)間實(shí)現(xiàn)簡易程序控制功能）、級聯(lián)控制功能、功率前饋功能、2系統(tǒng)通信接口等等各種功能。用于半導(dǎo)體制造過程中RTP(Rapid Thermal Process：急速加熱處理)操作

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HA900高速數(shù)字控制器

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