電子光學(xué)是研究帶電粒子束的基礎(chǔ)學(xué)科,它是掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡、質(zhì)譜儀等現(xiàn)代大型科學(xué)儀器的關(guān)鍵組成部分,對于科學(xué)研究和國民經(jīng)濟(jì)發(fā)展起到重要的作用。
中國電子顯微鏡學(xué)會(huì)電子光學(xué)與儀器專業(yè)委員會(huì)主辦的“2009年全國電子光學(xué)儀器與應(yīng)用學(xué)術(shù)交流研討會(huì)”于2009年4月24日-25日在北京航空航天大學(xué)的如心會(huì)議中心召開,姚駿恩院士擔(dān)任大會(huì)主席,朱靜院士擔(dān)任會(huì)議學(xué)術(shù)委員會(huì)主任,王琛研究員、韓立研究員、王榮明教授擔(dān)任學(xué)術(shù)委員會(huì)副主任,組織委員會(huì)主任由電子光學(xué)與儀器專業(yè)委員會(huì)主任張永明研究員擔(dān)任。本次會(huì)議是我國電子光學(xué)儀器與應(yīng)用研究領(lǐng)域同行的一次聚會(huì),50多名國內(nèi)外學(xué)者集聚一堂。
開幕式由會(huì)議組織委員會(huì)主任張永明研究員主持。
大會(huì)主席北京航空航天大學(xué)姚駿恩院士首先致辭,介紹了電子光學(xué)儀器與應(yīng)用學(xué)術(shù)交流會(huì)議的的發(fā)展歷程。
北京航空航天大學(xué)教務(wù)處處長陳強(qiáng)教授用一系列數(shù)字介紹了北航近年來的發(fā)展?fàn)顩r,并且希望與有實(shí)力的企事業(yè)單位、大專院校進(jìn)行廣泛的合作。
北京航空航天大學(xué)物理學(xué)院黨委書記樂小云教授發(fā)言并祝愿此次會(huì)議順利召開。
開幕式后,首先由HMI公司總裁陳仲瑋博士、上海交通大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院王永瑞教授、中國地質(zhì)*礦產(chǎn)資源所周劍雄教授做大會(huì)特邀報(bào)告。
陳仲偉博士報(bào)告中將SEM市場細(xì)分為四個(gè)部分:Lab SEM、Fab.Wafer Inspection SEM、Fab.Defect Review SEM、Fab.CD SEM,分別分析了其年生產(chǎn)量、市場總額、儀器廠商、儀器、技術(shù)等情況。
上海交通大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院 王永瑞教授:電子顯微鏡固體樣品制備設(shè)備研發(fā)及推廣應(yīng)用
王永瑞教授的報(bào)告主要介紹了其研發(fā)組近年來在電子顯微鏡固體樣品制備設(shè)備研發(fā)、小批量生產(chǎn)、推廣應(yīng)用等方面所做的工作,尤其重點(diǎn)介紹了超聲波圓片切割器、金剛石套鉆圓片切割器的成功研制及其優(yōu)良的性能。
周劍雄教授報(bào)告中介紹了微束分析方法、標(biāo)準(zhǔn)、成套標(biāo)樣、應(yīng)用實(shí)例等內(nèi)容,并且向大家推介了“中華微束分析技術(shù)平臺”的。
其后多位國內(nèi)學(xué)者就電子光學(xué)和離子光學(xué)設(shè)計(jì)、制造方面的研究成果與技術(shù)改進(jìn),儀器和配套設(shè)備、功能部件技術(shù)的進(jìn)展,微束儀器遠(yuǎn)程共享,電子顯微鏡等儀器在重要領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè)的應(yīng)用等問題分別做大會(huì)報(bào)告。
各位專家在會(huì)議上交流了在電子顯微鏡儀器、配套部件等方面的研究及應(yīng)用中所取得的科技成果、經(jīng)驗(yàn),共同獻(xiàn)計(jì)獻(xiàn)策為我國的科學(xué)儀器事業(yè)做出貢獻(xiàn)。會(huì)議同期召開了“電子光學(xué)與儀器專業(yè)委員會(huì)會(huì)議”。
會(huì)后,組織了參會(huì)者到清華大學(xué)北京電子顯微鏡中心、中科科儀公司、中科院電工所參觀。
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