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  • 哈爾濱芯明天科技有限公司

    新品推薦|P66.X2K-B1Z一維高精度真空壓電納米定位臺(tái)

    時(shí)間:2024-8-6 閱讀:1240
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    P66系列壓電納米定位臺(tái)以壓電陶瓷為驅(qū)動(dòng)源,內(nèi)部采用直驅(qū)或放大機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)的1~3維運(yùn)動(dòng)的壓電位移平臺(tái),可達(dá)毫秒級(jí)響應(yīng)、納米級(jí)定位精度,并可選配高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)精密定位控制。該產(chǎn)品非常適用于定位應(yīng)用,如干涉中光路徑長(zhǎng)度修正,顯微或掃描應(yīng)用中的樣品定位等。
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    1~3維P66系列壓電納米定位臺(tái)

    P66.X2K-B1為P66系列新推出的一款一維真空壓電納米定位臺(tái)。該產(chǎn)品采用直驅(qū)結(jié)構(gòu),X向最大位移2.4μm,開(kāi)環(huán)分辨率可達(dá)0.5nm,承載可達(dá)2kg,諧振頻率可達(dá)12kHz,它尺寸為70mm×85mm×20.5mm,體積非常小巧,定制航空連接器,可在真空環(huán)境下使用,芯明天可定制真空工作環(huán)境使用產(chǎn)品達(dá)2E-11mbar。P66.X2K-B1產(chǎn)品外觀如下圖所示。
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    產(chǎn)品特點(diǎn)



    一維X向運(yùn)動(dòng)
    精度可達(dá)0.5nm
    承載可達(dá)2kg
    諧振頻率可達(dá)12kHz
    毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間
    定制采用航空連接器
    真空版本,可選配閉環(huán)版本

    產(chǎn)品應(yīng)用



    干涉
    顯微/掃描
    光學(xué)測(cè)量
    微加工/精密控制
    計(jì)量

    技術(shù)參數(shù)



     

    型號(hào)
    P66.X2K-B1Z
    運(yùn)動(dòng)自由度
    X
    驅(qū)動(dòng)控制
    1路驅(qū)動(dòng)
    標(biāo)稱(chēng)行程范圍(0~120V)
    1.9μm
    行程范圍(0~150V)
    2.4μm
    開(kāi)環(huán)分辨率
    0.5nm
    空載諧振頻率
    12kHz
    帶載諧振頻率
    10kHz@20g
    階躍時(shí)間
    2ms
    靜電容量
    0.58μF
    工作溫度范圍
    -20~80℃
    承載能力
    2kg
    材質(zhì)
    不銹鋼、鋁合金
    重量
    310g

     


    配套控制器



    E53.C1K非常適用于驅(qū)動(dòng)P66.X2K-B1Z壓電納米定位臺(tái)。它是一款小體積單通道壓電控制器,24VDC/1.5A供電,采用模擬或數(shù)字控制,通信接口為USB/RS-422/RS-232,帶寬10kHz,尺寸為148mm×27.5mm×80mm,體積小巧,易集成。

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