通常情況下，壓電納米定位臺被設(shè)計用于室溫環(huán)境。但仍有很多用戶需要真空環(huán)境下使用壓電納米定位臺。例如，當(dāng)研究需要基于真空條件時，就需要構(gòu)建一個相應(yīng)的真空實驗環(huán)境，相應(yīng)精密定位用的壓電納米定位臺就需要工作在真空環(huán)境下。既要保證壓電納米定位臺在真空環(huán)境下正常工作，同時壓電納米定位臺要保證不會因自身磨損、漏氣或產(chǎn)生過多熱量，從而避免對真空環(huán)境的真空度造成不利影響，如改變真空度等。

根據(jù)真空度，真空環(huán)境至少可分為真空和超高真空，真空度達到10^-6mbar，即為中等真空環(huán)境，而真空度達到10^-9mbar，即可稱為超高真空。

XD731系列壓電納米定位臺是專為真空應(yīng)用環(huán)境而設(shè)計，它的真空兼容度可達10^-7mbar。它可同時在X、Y、Z三個方向進行納米級位置調(diào)整，具有優(yōu)秀的靈活性。

•三維XYZ運動

•真空兼容

•外形緊湊

•可選配閉環(huán)傳感器

•真空環(huán)境三維快速掃描

•納米定位

•生物技術(shù)

•量子測量

XD731系列真空三維壓電納米定位臺可選配閉環(huán)傳感器，經(jīng)過實測，在閉環(huán)條件下，驅(qū)動控制電壓與實際位移間的曲線如下圖所示。

經(jīng)過實測，XD731系列閉環(huán)真空壓電納米定位臺的空載諧振頻率大于400Hz，加載250g負(fù)載情況下的諧振頻率大于150Hz。

芯明天公司接受各類真空版本壓電產(chǎn)品的定制。

根據(jù)用戶提供的真空參數(shù)需求及真空條件，芯明天基于柔性撓曲機械設(shè)計一維或多維的壓電納米定位臺，在設(shè)計過程，既保證參數(shù)的達標(biāo)，并著重考慮真空條件下的材料選擇，不對真空環(huán)境產(chǎn)生不利影響，并使每個運動軸的運動控制精度達到最佳狀態(tài)。

而真空實驗環(huán)境的空間通常會受限，芯明天不僅在參數(shù)、材料上*優(yōu)化，并在外觀、尺寸等方面進行*優(yōu)化。

為保證真空度及更好的工作狀態(tài)，真空環(huán)境中壓電納米定位臺與真空腔外的壓電控制器間需通過真空法蘭進行連接。芯明天公司可為用戶配備各種規(guī)格尺寸的真空法蘭，為用戶在真空環(huán)境下的定位系統(tǒng)安裝提供便利。

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