<tfoot id="qqie6"></tfoot>

<ul id="qqie6"></ul>

哈爾濱芯明天科技有限公司

新品介紹|XD107系列壓電掃描臺 - 三維納米運動

時間：2022-7-20 閱讀：1355

XD107系列壓電掃描臺是一款定制設計的三維運動的壓電平臺，具有特殊的負載安裝孔位。它的中心具有50×50mm方形通孔，適用于樣品顯微成像/掃描、微納米范圍的對準、納米聚焦、測量等應用。

XD107系列壓電掃描臺內部采用機構放大式驅動原理，內置高性能壓電陶瓷、無摩擦柔性鉸鏈導向機構，可實現XY向100μm/軸、Z向80μm位移。具有非常高的控制精度，分辨率和穩定性都可達nm級，定位響應時間也可達ms級。

該壓電掃描臺可根據應用需求選配閉環傳感器，以獲取更高的精度。

產品特點

•XYZ三維運動

•行程可達100μm

•承載能力0.4kg

•中心通孔50×50mm

產品應用

•掃描顯微鏡

•掩模/晶圓定位

•干涉、度量衡學

•生物技術

•微操作

引線連接器

XD107系列壓電掃描臺的連接器共有2組，每組有3個，一組用于電壓驅動信號的傳輸，一組用于傳感反饋信號的傳輸。連接器的配置主要取決于所選配的壓電控制器的連接器類型。XD107系列的連接器是為了匹配芯明天E00/E01系列壓電控制器（下方右圖），若更換其他壓電控制器，可更換為其他相應的連接器類型。

外觀效果

電壓位移曲線：下圖中為XD107系列壓電掃描臺的XY向的驅動電壓與位移曲線。

線性度曲線

技術參數

型號：XD107.XY100Z20S

運動方向：X、Y、Z

標稱行程范圍(0~120V)：XY80/Z64μm

行程范圍(0~150V)：XY100/Z80μm

傳感器類型：SGS

閉環分辨率：3nm

閉環線性度：0.1%F.S.

閉環重復定位精度：0.02%F.S.

俯仰/偏航/滾動：≤30μrad

空載諧振頻率：XY220/Z160Hz

帶載400g諧振頻率：XY110/Z80Hz

承載能力：0.4kg

靜電容量：XY3.6/Z1.8μF

材質：鋼、鋁

通孔尺寸：50×50mm

外形尺寸：94×94×24.5mm

重量：420g

應用舉例



立即詢價 您留言后，廠商將第一時間為您服務！

*留言

標題：: 請輸入你感興趣的產品

需求：: 請簡單描述您的需求

請簡單描述您的需求

限200字

上傳附件

*聯系人

*電話

單位

微信

同手機號

郵箱

省份

請選擇省份

請選擇省份
安徽
北京
福建
甘肅
廣東
廣西
貴州
海南
河北
河南
黑龍江
湖北
湖南
吉林
江蘇
江西
遼寧
內蒙古
寧夏
青海
山東
山西
陜西
上海
四川
天津
新疆
西藏
云南
浙江
重慶
香港
澳門
臺灣
國外

*驗證碼

請輸入計算結果（填寫阿拉伯數字），如：三加四=7

提交后，默認您同意《服務條款》和《隱私協議》

哈爾濱芯明天科技有限公司

哈爾濱芯明天科技有限公司

新品介紹|XD107系列壓電掃描臺 - 三維納米運動

會員登錄

收藏該商鋪

提示