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  • 哈爾濱芯明天科技有限公司

    真空三維XYZ壓電螺釘運(yùn)動平臺

    時(shí)間:2021-7-26 閱讀:1874
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    真空版本XYZ65N81K26是一款采用壓電螺釘驅(qū)動的XYZ三維運(yùn)動平臺,可實(shí)現(xiàn)毫米級大行程位置調(diào)整,行程可達(dá)25.4mm/軸,同時(shí)可實(shí)現(xiàn)納米級位移增量,廣泛應(yīng)用于精密定位及半導(dǎo)體測試等領(lǐng)域。同時(shí)適用于真空應(yīng)用環(huán)境要求,真空度可達(dá)10^-5Pa。

     

    平臺采用真空版本壓電螺釘驅(qū)動,全行程內(nèi)具有超過20nm的分辨率,額定負(fù)載30N,設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)緊湊,具有出色的長期穩(wěn)定性且能在斷電情況下繼續(xù)保持在設(shè)定位置。

     

    特點(diǎn)

    • XYZ向運(yùn)動

    • 行程可達(dá)25.4mm/軸

    • 分辨率達(dá)0.5μm

    真空度打10^-5Pa

    • 可定制閉環(huán)版本

    應(yīng)用

    • 平版印刷

    • 納米壓印/納米計(jì)量學(xué)

    • 半導(dǎo)體技術(shù)/半導(dǎo)體測試

    • 在強(qiáng)磁場和真空中運(yùn)動

    1~3維運(yùn)動平臺

    該系列真空版本運(yùn)動平臺,可實(shí)現(xiàn)X、XY、XYZ等多軸運(yùn)動,均可實(shí)現(xiàn)25.4mm的精密位移調(diào)整。

     

    技術(shù)參數(shù)

    型號XYZ65N81K26

    運(yùn)動自由度XYZ

    行程范圍25.4mm/軸

    最小位移增量<30nm

    分辨率0.5μm

    中心負(fù)載50N

    軸承滾珠

    材料

    工作溫度10~40℃

    端口4-Pin

    出線長2m

    推薦控制器

    該系列平臺可由驅(qū)動器E53.C4K通過USB接口進(jìn)行4軸開環(huán)控制。

     

     

     


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