• <del id="qqie6"><sup id="qqie6"></sup></del>
  • <tfoot id="qqie6"></tfoot>
  • <ul id="qqie6"></ul>
  • 哈爾濱芯明天科技有限公司

    壓電掃描平臺在激光直寫系統(tǒng)中的應(yīng)用|光刻

    時間:2021-4-25 閱讀:1453
    分享:

    激光直寫是利用強(qiáng)度可變的激光束對基片表面的抗腐蝕材料實(shí)施變劑量曝光,顯影后在抗腐蝕層表面形成所要求的浮雕輪廓,激光直寫系統(tǒng)的基本工作原理是由計(jì)算機(jī)控制高精度激光束掃描,在光刻膠上直接曝光寫出所設(shè)計(jì)的任意圖形,從而把設(shè)計(jì)圖形直接轉(zhuǎn)移到掩模上。

    激光直寫系統(tǒng)基本原理結(jié)構(gòu)

    激光直寫系統(tǒng)的基本結(jié)構(gòu)如圖1所示,主要由He-Cd激光器、聲光調(diào)制器、投影光刻物鏡、CCD攝像機(jī)、顯示器、照明光源、工作臺、調(diào)焦裝置、He-Ne激光干涉儀和控制計(jì)算機(jī)等部分構(gòu)成。

     

    1 激光直寫系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡圖

    激光直寫的基本工作流程是:用計(jì)算機(jī)產(chǎn)生設(shè)計(jì)的微光學(xué)元件或待制作的VLSI掩模結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù);將數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成直寫系統(tǒng)控制數(shù)據(jù),由計(jì)算機(jī)控制高精度激光束在光刻膠上直接掃描曝光;經(jīng)顯影和刻蝕將設(shè)計(jì)圖形傳遞到基片上。

    激光直寫系統(tǒng)現(xiàn)有技術(shù)存在的問題

    機(jī)械誤差:光刻過程是指放置在電動平臺上的光刻膠基片隨著電動平臺的轉(zhuǎn)動和平移,由聲光調(diào)制器控制光束的強(qiáng)弱對光刻膠進(jìn)行變劑量曝光,通常電動平臺的定位精度達(dá)到微米或亞微米量級。然而由于慣性、靜摩擦、松動等所造成的電動平臺螺距誤差與偏移,將直接影響著系統(tǒng)的性能和光刻元件的質(zhì)量。如何提升實(shí)現(xiàn)平臺的高精度定位是激光直寫技術(shù)中需要考慮的問題。

    芯明天壓電納米定位平臺采用柔性鉸鏈機(jī)構(gòu),鉸鏈機(jī)構(gòu)基于固體的彈性變形,無滾動和滑動部分,具有零摩擦、高精度的特點(diǎn),并且具有很高的剛度和承載能力。更重要的是,芯明天壓電納米定位臺的定位精度可達(dá)納米級甚至亞納米級。

    芯明天壓電納米定位平臺以其納米級的精度、穩(wěn)定的性能、便捷的操控成為掃描運(yùn)動平臺的理想選擇。

    芯明天壓電掃描臺簡介

    P12A系列壓電掃描臺

    運(yùn)動自由度:XYZ

    行程:100μm/軸

    分辨率:7/4nm

    中心通孔:45×45mm

    承載能力:0.5kg

    P15系列壓電掃描臺

    運(yùn)動自由度:XYZ

    行程:300μm/軸

    分辨率:13/6nm

    中心通孔:66×66mm

    承載能力:0.5kg

     

    P17.XY200系列壓電掃描臺

    運(yùn)動自由度:XY

    行程:187.5μm/軸

    分辨率:8/5nm

    中心通孔:60×60mm

    承載能力:1kg

     

    P78.Z200/300系列壓電掃描臺

    運(yùn)動自由度:Z

    行程:187.5μm/262.5μm

    分辨率:7/3nm

    中心通孔:64×64mm

    承載能力:1kg

     

    為了壓電納米定位臺與您系統(tǒng)間更好的融合,芯明天公司提供定制服務(wù),可按客戶應(yīng)用的系統(tǒng)進(jìn)行量身定制。

    會員登錄

    ×

    請輸入賬號

    請輸入密碼

    =

    請輸驗(yàn)證碼

    收藏該商鋪

    X
    該信息已收藏!
    標(biāo)簽:
    保存成功

    (空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)

    常用:

    提示

    X
    您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復(fù)您~
    撥打電話 產(chǎn)品分類
    在線留言
    主站蜘蛛池模板: 999影院成人在线影院| 久久久久成人精品| 国产成人涩涩涩视频在线观看| 成人窝窝午夜看片| 国产成人综合日韩精品无码| 国产成人精品一区二区三区免费| 亚洲精品国产成人| 成人毛片免费视频| 亚洲欧洲精品成人久久曰| 精品无码成人久久久久久| 国产成人精品一区二三区| 久久亚洲国产成人精品性色| 成人免费看www网址入口| 久久精品成人免费观看| 国内外成人在线视频| av成人免费电影| 国产成人aaa在线视频免费观看| 久久久久99精品成人片试看| 国产成人精品一区二三区在线观看| h成人在线观看| 亚洲av无码成人精品区狼人影院| 成人精品一区二区户外勾搭野战| 亚洲av成人一区二区三区| 成人免费在线观看| 欧美成人综合在线| 69国产成人综合久久精品91| 亚洲色成人网站WWW永久| 在线91精品亚洲网站精品成人| 中文国产成人精品少久久| 亚洲欧美成人一区二区在线电影| 国产成人精品福利色多多| 国产成人精品日本亚洲专区61| 国产麻豆成人传媒免费观看| 成人国产激情福利久久精品| 成人免费男女视频网站慢动作| 成人综合激情另类小说| 日本成人免费在线视频| 欧美成人精品一区二区| 激情成人综合网| 成人欧美一区二区三区黑人| 成人国产精品视频|