高精度直線壓電掃描臺是以壓電陶瓷作為驅動源，結合柔性鉸鏈機構實現X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸精密運動的壓電平臺，壓電掃描臺中心具有通孔且體積小巧、無摩擦、分辨率高、響應速度快，配置高精度傳感器，可以實現納米級分辨率及定位精度且具有*的可靠性。產品主要應用于透光精密光學器件的定位與調整、生物顯微與光學顯微成像系統等。

特點

高分辨率

壓電掃描臺是以壓電陶瓷作為驅動源，壓電陶瓷是高精度致動器，通過控制電壓的微小變化產生非常小的位移，可達到亞納米級。

多種通孔尺寸可選

從適用于小型設備（如紅外熱成像）的小通孔壓電掃描臺到大型設備（如大口徑干涉儀）用的大通孔壓電掃描臺，多種規格型號可選。

快速響應、抗干擾

壓電納米定位臺由容性負載驅動，可產生毫秒級的響應時間，響應速度非?？欤瑫r由于自身的材料特性，使其在使用過程中不受干擾，能夠實現大的性能輸出。

無磨損、低功耗

壓電納米運動系統采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構，柔性導向系統具有超高的導向精度，具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點。同時壓電效應將電能直接轉換為運動，在靜態操作時，即使在負載情況下，也不會消耗功率。

應用領域

原子力顯微鏡

閉環納米定位掃描臺作為原子力顯微鏡的一部分，可帶動樣品進行高速精密運動，可以實現X、Y、Z軸大375μm的掃描，分辨率為亞納米級，響應時間可達亞毫秒。

三維共焦顯微

三維共聚焦顯微拉曼光譜分析儀器，能在納米范圍內測量物質化學狀態的三維圖像。壓電物鏡驅動器實現對顯微鏡在Z軸方向上的納米級在線實時調焦，XY二維壓電掃描臺實現對被測物高精度的二維平面位移運動。

紅外熱成像掃描

紅外熱成像通過紅外敏感CCD對物體進行成像，能反映出物體表面的溫度場。二維壓電掃描臺的高速高精度掃描大大提高了熱成像的分辨率。