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  • 哈爾濱芯明天科技有限公司

    中空式激光合束壓電偏擺臺

    時間:2020-3-20 閱讀:1227
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    P54系列是中心通孔二維θxθy軸壓電偏擺臺,采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計,響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高,80×80mm中心大透空孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。

       特點   

    • θx,θy偏擺運動 

    • 開環(huán)/閉環(huán)可選擇 

    • 80×80mm大通孔 

    • 分辨率高 

    • 外形薄 

    • 適于加速度/角速度傳感器標(biāo)定

       θx,θy軸偏擺   

     

     

     

     

       應(yīng)用實例   

    P54系列壓電偏擺臺以其超薄的外形、高精度的偏轉(zhuǎn)已批量應(yīng)用于軍事激光武器等領(lǐng)域。

       閉環(huán)傳感精度高   

    P54系列壓電偏轉(zhuǎn)臺內(nèi)部柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)采用有限元分析優(yōu)化,使角度偏移達(dá)到小,無空回、無摩擦。采用壓電陶瓷驅(qū)動實現(xiàn)大偏轉(zhuǎn)范圍±1mrad,分辨率高達(dá)0.05μrad,可選擇配置閉環(huán)傳感器實現(xiàn)0.1%F.S.的重復(fù)定位精度。臺體非常薄,厚度僅為20mm,中心通孔尺寸為80×80mm,P54壓電偏轉(zhuǎn)臺是亞微弧度精密光束調(diào)整、計量、定位等應(yīng)用的不錯選擇。

       負(fù)載大鏡片   

    P54壓電偏轉(zhuǎn)臺中心大通光孔達(dá)80×80mm,非常適用于需要透射光的應(yīng)用,負(fù)載后仍可高動態(tài)高精度的掃描。

       頻率負(fù)載曲線   

       典型應(yīng)用   

    • 光束掃描 

    • 激光合束對準(zhǔn)與激光致盲

    • 干涉 / 計量 

    • 空間擾動模擬系統(tǒng)

    • 微操作 

    • 掩模與晶片位置調(diào)整

       開環(huán)曲線   

       階躍時間  

       重復(fù)定位精度   

       推薦控制器   

       技術(shù)參數(shù)   

    注:以上參數(shù)是采用 E00/E01 系列壓電控制器測得。驅(qū)動電壓范圍可在 -20V~150V;對于高可靠的長期使用,建議驅(qū)動電壓在0~120V。

     

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