P18.XY300S壓電掃描臺為二維XY運動閉環直線掃描臺，采用機構放大設計原理，內部以高可靠性的壓電陶瓷為驅動源，可以實現370μm/軸的高速掃描，通光孔徑為Ø35mm，非常適用于大行程多維掃描等應用。

特點

位移可達 370μm

承載可達1.5kg

通孔直徑：Ø35mm

閉環重復定位精度高

響應速度快

階躍時間

單點定位應用，P18.XY300S 帶載 100g 負載階躍時間 60ms。

配套控制器

P18.XY300S二維壓電掃描臺需要三個輸出通道的壓電控制器進行驅動控制，其中兩個通道為可變0~120V輸出，另一通道為120V恒壓輸出。P18.XY300S配套E72.D3S-I1壓電控制器，可滿足P18.XY300S的各項參數要求。

應用實例-納米光刻

在納米光刻實驗中需要對鏡片進行高速微納米級的精密移動，從而優化鏡片讀取的信息。

芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高穩定性等優點應用于納米光刻實驗。

典型應用

圖像處理與穩定

掃描顯微

干涉/計量

表面檢測

光學計量

半導體測量