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  • 哈爾濱芯明天科技有限公司

    芯明天大負載XP-63X高精度壓電納米定位臺

    時間:2018-11-19 閱讀:1607
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    芯明天XP-63X壓電納米定位臺為壓電陶瓷直驅X軸運動定位臺,內置高可靠性壓電陶瓷,采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構,具有剛度大、分辨率高、響應速度快等特點,可以通過自由組合的方式組成二維XY、三維XYZ納米定位臺。

     

    特點

    · 1~3維自由組合

    · 大行程68μm

    · 大承載5kg

    · 亞毫秒響應時間

     

    體積小、剛度大、響應速度快、閉環精度高

    XP-63X系列壓電納米定位臺特殊的結構設計,具有大機械剛度、大承載、更高的空載諧振頻率等特點。負載情況下也具有很高的使用頻率,響應時間可以實現亞毫秒級。例如XP-630帶動20g負載,響應時間僅為5ms。XP-63X系列產品體積小巧,XP-630一維尺寸僅為60×45×18mm,易于與其他平臺設備集成。

    閉環版本配置應變傳感器,可實時檢測位置信號并反饋給閉環控制器,控制器通過PID算法對檢測到的位置信號進行修正,從而實現納米級的精密定位。

     

    技術參數

    XP-633.XS

    運動自由度: X

    標稱行程范圍(0~120V):48μm

    大行程范圍(-20~150V):68μm

    傳感器類型:SGS

    閉環分辨率:2nm

    閉環線性度:0.15%F.S.

    閉環重復定位精度:0.1%F.S.

    推/拉力:480/80N

    剛度:10N/μm

    空載諧振頻率:1.5kHz

    大承載:5kg

    靜電容量:7.2μF

    材質:鋁

    重量:450g

     

    應用實例

    采用XP-633壓電納米定位臺帶動探針作精密位移定位檢測控制,從而完成1mN的力控制實驗。

     

    XP-633壓電納米定位臺配套二維宏動臺組成宏微復合機構,應用于精密加工中。

     

    推薦控制器

    XP-633為一維壓電納米定位臺,推薦使用E53.D小體積壓電控制器,體積小巧,易于集成。

     

     

    E53.D壓電控制器

     

    ·E53.D

    ·0~120V/150V輸出

    ·模擬、上位機通信控制

    ·帶寬10kHz

    ·尺寸80×148×27.5mm

     

    kerning:1.0000pt;" >E01.D1壓電控制器

     

     

    ·E01.D1

    ·0~120V/150V輸出

    ·平均功率7W/35W

    ·上位機通信、模擬、旋鈕控制

     

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