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    SJ6000激光干涉儀如何測量平行度
    
			
    
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    SJ6000激光干涉儀平行度測量是在直線度測量的基礎上而擴展的應用。
    平行度測量原理
    平行度測量由平行軸的兩組直線度測量組成，參見下面平行度測量光路原理構件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準，在測量過程中保持原位，且不進行調整。由第1運動軸的斜度θ1中減去第2運動軸的斜度θ2，即可得出平行度＝θ1－θ2。
    平行度測量配置
    平行度測量配置主要由SJ6000主機、短直線度鏡組（或長直線度鏡組）、SJ6000靜態測量軟件等組件構成。Z軸的平行度測量需增添可調轉向鏡。
    平行度測量應用
    
				
    
				
		
    
	
    

    


        
        




    

    

    

	 
    
    				
			

		
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    

    

     
     
     
	 



		 


    
	
    
		
    
			
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