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閱讀：330發(fā)布時間：2024-2-21
zygo白光干涉儀的特征與維護(hù)
干涉分析儀器是用來分析光線在兩個不同的表面上反射后產(chǎn)生的干涉條紋。它的基本原理是由不同的光學(xué)元件構(gòu)成參考光路和檢測光路。
一、運(yùn)作方式
干涉法是一種用干涉原理測量光程差異并測定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。如果兩個相干光之間的光程差異發(fā)生變化，就會非常敏感地引起干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由于它穿過的幾何距離或介質(zhì)折射率的變化而引起的，因此，通過改變干涉條紋的運(yùn)動，就可以測出與此相關(guān)的其它物理量。光程差的測量精度是決定光程差測量精度的關(guān)鍵因素之一，干涉條紋每移動一條條紋的間隔就會改變一個波長(~10-7米)，因此干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的，其測量精度是其它測量方法的。
二、特征：
1、非接觸測量：避免損壞物體。
2、三維表面測量：表面高度的測量范圍為1nm-200μm。
3、多視場鏡頭：方便物鏡快速切換。
4、納米級的分辨率：垂直分辨率可達(dá)到0.1nm。
5、高速數(shù)字信號處理器：只需幾秒鐘就可以完成測量。
6、掃描器：閉環(huán)控制系統(tǒng)。
7、工作臺：氣動裝置，抗震，抗壓力。
8、測量軟件：基于Windows操作系統(tǒng)的用戶界面，操作簡單快捷。
三、維護(hù)。
1、儀器應(yīng)妥善放置在干燥、潔凈的房間內(nèi)，防止震動，儀器移動時應(yīng)將底座托住，以防導(dǎo)軌變形。
2、光學(xué)零件不用時，應(yīng)存放在干凈的干燥盆內(nèi)，以防發(fā)霉。反射鏡、分光鏡一般不允許擦洗，需要擦拭的時候，要先用備件毛刷仔細(xì)撣去灰塵，再用脫脂清潔棉球滴上酒精和混合液輕擦。
3、傳動部件應(yīng)有良好的潤滑。尤其是導(dǎo)軌、絲桿、螺母及軸孔部分，采用T5精密儀表油潤滑。
4、使用時，各調(diào)節(jié)部位要用力適度，不能強(qiáng)旋、硬拉。
5、導(dǎo)軌上的絲桿應(yīng)防止刮痕、生銹，使用完畢后，仍不失油。
6、儀器部件經(jīng)精密調(diào)整后，應(yīng)涂上紅漆，不得隨意轉(zhuǎn)動。
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