智能潔凈室技術為IC制造保駕護航

——訪中電四公司市場管理總經理張琪

       隨著市場環境的優化升級和國家政策的有利驅動，新能源汽車、智能駕駛、智能終端和5G等對集成電路的需求激增。而作為典型的高精尖產業，集成電路的制造對生產環境和工藝的要求苛刻。其中，潔凈室的建設是集成電路制造中的關鍵環節，對產品的性能具有至關重要的影響。

       作為我國專業從事潔凈室機電設備安裝的工程公司之一，中國電子系統工程第四建設有限公司（以下簡稱“中電四公司"）可為集成電路制造企業提供設計、采購、項目管理、施工、設施管理、潔凈室配套產品制造等一體化“交鑰匙"工程服務。

       2021年，在為北京集電控股有限公司（以下簡稱“北京集電"）建設集成電路車間潔凈室項目中，中電四公司為滿足客戶對環境監測的高精度和高穩定性要求，選擇與維薩拉合作，將工業用溫濕度變送器HMT330、溫濕度變送器HMT370EX和溫濕度變送器HMT120等系列產品，成功應用于北京集電廠房潔凈室。自應用以來，相關儀表和變送器運行穩定，測量準確。

纖毫必顯 打造高標準的潔凈車間

       穿戴嚴密封閉的特制防護服和鞋套，經過嚴格的車間消殺流程，再通過數道相互獨立隔離的車間閘門，操作員方能進入標準嚴苛的集成電路廠房潔凈室。不同于一般工業品，集成電路從單晶硅片制造到IC制造再到IC封裝的重要步驟，均需在潔凈室中完成。無論是微小的粉塵和碎屑，還是無形的環境溫度和濕度等，都將對制造過程產生重大影響。

       “集成電路的制造對生產環境的要求非常高，需要對溫度、濕度等參數進行準確、穩定的測量，從而確保生產環境的穩定可靠。"中電四公司市場管理總經理張琪表示，“2020年，早在北京集電潔凈室項目的投標階段，我們知道維薩拉的相關產品客戶對溫濕度測量的苛刻需求。于是，我們決定采用維薩拉產品作為測量儀表進行投標，由此也開啟了與維薩拉一系列的深度合作。"

       隨著我國集成電路制造工藝的升級，其制造過程需要的潔凈程度也水漲船高，這對于潔凈室的建設提出了越來越高的要求。據介紹，北京集電所制造的集成電路工藝目前已突破28納米，對應的潔凈室環境溫度誤差為±0.3°C，濕度誤差為±3。一旦溫度和濕度突破限定誤差，將顯著影響產品的良品率、使用性能和可靠性。

       針對上述應用環境，維薩拉的多款產品如HMT330、HMT120和HMT370EX在其中扮演重要角色。其中，HMT330可在惡劣環境中和苛刻需求下實現測量，還可針對不同的應用環境實現定制，從而滿足多樣的客戶需求。HMT120則是一款專為潔凈室等環境打造的溫濕度變送器，智能測量探頭可現場更換，輕松實現測量的可追溯性。

       值得一提的是具有“本質"功能的溫濕度變送器HMT370EX。即使在誤操作或發生故障的情況下，這款產品也不會造成事故或設備損壞。截至目前，該產品已獲得多項本質認證。除測量相對濕度和溫度外，HMT370EX還支持輸出其他濕度參數，如露點溫度、濕球溫度、濕度、混合比、水濃度、水質量分數、水汽壓和焓值。

       “維薩拉產品的測量精度不僅潔凈室的設計標準，更大幅壓縮了標準誤差的范圍：將其降低至誤差的三分之一，達到了濕度±1、溫度±0.1°C，充分保障了潔凈室的可靠運行。"張琪補充道，“出于項目整體精度和穩定性的考慮，維薩拉的測量儀表成為我們這個項目的理想選擇。"

擊破阻隔 跨越重洋的迅疾響應

       對于高精尖的工程建設而言，時效的重要性不言而喻。項目所需的各項產品和材料往往有著嚴格的供貨周期，某項關鍵材料的缺失，將直接影響項目的進度。而全球疫情的起伏不定，給產品的供貨時效增添了一抹不確定性。

       “國際物流需提前預定，疊加疫情影響，一些材料和產品需要提前半年甚至更久預定。"張琪表示，“然而北京集電的項目周期非常緊張，高質量的測量產品對項目的完成意義重大，我們一度非常擔心維薩拉的產品能否及時到貨。"

       事急從權。在產品供貨緊張的背景下，維薩拉及其代理商配合，在與中電四公司達成初步購買意向、尚未簽署正式購買合同時，提前鎖定了項目所需的產品，并充分協調內外部資源，將產品如期送抵客戶手中。

       “北京集電的項目如期竣工，各項指標均達到了預期水平。截至目前，相關項目設備運行穩定，客戶未反饋任何售后需求。而沒有售后需求，也是對我們產品質量的高度認可。"談及雙方的合作過程，張琪感觸良多，“為了我們的項目，維薩拉的對接同事克服了很多困難，給予了支持。這增進了我們雙方的信任，讓我們很感動，也為后續的合作奠定了良好的基礎。"

       每年，像潔凈室建設之類的專業承包約占中電四公司總工程量的50。特別是在超大面積潔凈室、超凈潔凈室、高空間潔凈室、超精度潔凈室的建設方面，中電四公司有著豐富的工程經驗和相關工程技術。

       與此同時，維薩拉也憑借著穩定可靠的產品性能、過硬的產品和快速響應的服務，贏得了中電四公司的青睞與信任。相信在不遠的未來，維薩拉將與中電四公司開展更為深入的戰略合作，助力雙方的品牌出現在更多高精尖產品的打造和應用場景之中。