我們的隔膜密封閥產品有多種尺寸、材質和配置可供選擇，能夠滿足各種高純和超高純(UHP) 應用的需求。
隔膜密封閥：
●循環壽命長，可有效關斷
●具有包括手動、氣動和鎖定在內的執行機構選購件
●提供各種尺寸、材質和配置
我們的隔膜密封閥產品包括：
●原子層沉積隔膜閥（ALD3 和 ALD6）
●大宗氣體隔膜閥（LD 系列）
●隔膜密封閥（DL 和 DS 系列）
●超高純含氟聚合物隔膜閥（DRP 系列）
●高流量無彈簧隔膜閥（DF 系列）
●高性能無彈簧隔膜閥（DP 系列）
●適用于模塊化氣體系統的 1.125 in. 無彈簧隔膜閥（DE 系列）
●熱浸沒型隔膜閥（DH 系列）
是否在尋找原子層沉積超高純閥？
原子層沉積 (ALD) 閥
查看 ALD3 和 ALD6 系列隔膜閥以及我們富有特色的用于原子層沉積的 ALD20 UHP 閥 。
大宗氣體隔膜閥（LD 系列）
LD 系列大宗氣體隔膜閥的流量系數高達 13，有多種閥體材料和配置可供選擇，因此廣泛適用于各種超高純關斷、大宗氣體輸送和隔離應用。
規格
工作壓力 | 300 psig (20.6 bar) |
溫度 | -20° 至 300°F（-28° 至 148°C） |
流量系數 | 13 |
閥體材料 | CF3M 鑄造不銹鋼、鍛造和棒材 316L 不銹鋼 |
隔膜材料 | 316L 不銹鋼 |
端接 |
類型 | 世偉洛克卡套管接頭、外螺紋 VCR® 面密封接頭、內螺紋 NPT、內螺紋 ISO、卡套管延長管 |
尺寸 | 1/4 至 1 in.；12 至 25 mm |
隔膜密封閥（DL 和 DS 系列）
DL 系列和 DS 系列隔膜閥為 3500 psig (241 bar) 以下壓力的高純和超高純應用提供無填料的全金屬密封。
規格
工作壓力 | 3500 psig (241 bar) |
溫度 | -100° 至 250°F（-73° 至 121°C） |
流量系數 | 0.30 |
閥體材料 | 316L 不銹鋼 |
隔膜材料 | 316 不銹鋼 |
端接 |
類型 | 世偉洛克卡套管接頭、VCR® 面密封接頭、VCO® O 型圈接頭、卡套管對焊、卡套管承插焊 |
尺寸 | 1/4、3/8 和 1/2 in.；6 和 8 mm |
超高純含氟聚合物隔膜閥（DRP系列）
DRP 系列超高純隔膜閥符合適用于超高純化學品輸送系統與設備的 SEMI 標準 F57-0301，其增強型設計有助于地減少截留區并延長隔膜壽命。
規格
壓力額定值 | 100 psig (6.8 bar) |
介質溫度 | 73° 至 212°F（23° 至 100°C） |
流量系數 | 10.2 |
閥體、隔膜材料 | 改良型 PTFE |
端接 |
類型 | 標準配置為細牙螺紋擴口和 Nippon Pillar Super 300®；ISO、NPT、Flowell |
尺寸 | 1/4 至 1 1/4 in. 和 6 至 25 mm |
配置 | 2 通和 3 通手動和氣動關斷；流量可調和旁通型 |
高流量無彈簧隔膜閥（DF 系列）
DF 系列隔膜閥廣泛適用于各種超高純大流量應用場合，流量系數為 0.62，并配備有大流量端接。
規格
工作壓力 | 真空至 300 psig (20.6 bar) |
爆裂壓力 | 3200 psig (220 bar) |
執行壓力 | 70 至 100 psig（4.9 至 6.8 bar） |
溫度 | -10° 至 270°F（-23° 至 132°C） |
流量系數 | 0.62 |
閥體材料 | 316L VAR 不銹鋼 |
隔膜材料 | 鈷基高溫合金 |
端接 |
Type | “H"型 VCR® 面密封接頭、VCR® 面密封接頭、卡套管對焊 |
Size | 1/4、3/8、1/2 in.；10 和 12 mm |
高性能無彈簧隔膜閥（DP 系列）
DP 系列隔膜閥采用 316L VIM-VAR 結構，適用于各種超高純應用場合。
規格
工作壓力 | 真空至 3045 psig (210 bar) |
爆裂壓力 | 12 200 psig (840 bar) |
執行壓力 | 60 至 120 psig（4.2 至 8.2 bar） |
溫度 | -10° 至 300°F（-23° 至 150°C） |
流量系數 | 0.20 和 0.27 |
閥體材料 | 316L VIM-VAR 不銹鋼 |
隔膜材料 | 鈷基高溫合金 |
端接 |
Type | 世偉洛克卡套管接頭、VCR® 面密封接頭、卡套管對焊、模塊化表面安裝 (MSM) |
Size | 1/4 in.；6 mm |
適用于模塊化氣體系統的1.125 in. 無彈簧隔膜閥（DE 系列）
DE 系列無彈簧隔膜閥有多種執行機構選購件可供選擇，易于集成到 1.125 in. C 型密封或 W 型密封模塊氣體系統中。
規格
工作壓力 | 真空至 125 psig (8.6 bar) |
爆裂壓力 | 3200 psig (220 bar) |
執行壓力 |
常閉 | 60 至 120 psig（4.1 至 8.2 bar） |
常開和 | 60 至 90 psig（4.1 至 6.2 bar） |
常閉，帶手動 | |
整體鎖定超控 | |
溫度 | 14° 至 150°F（-10° 至 65°C） |
流量系數 | 0.3 |
閥體材料 | 316L VIM-VAR 不銹鋼 |
隔膜材料 | 鈷基高溫合金 |
端接 |
類型 | 1.125 in. 模塊化表面安裝 (MSM) |
配置 | 2 孔口和 3 孔口 |
熱浸沒型隔膜閥（DH 系列）
世偉洛克熱浸沒型隔膜閥啟動速度快，流量系數高達 0.60，能夠在原子層沉積 (ALD)、前體輸送等高溫工藝應用場合的 220°C (428°F) 溫度下提供性能。此系列閥門有氣動型和手動型可供選擇，并具有各種 1/4 和 3/8 in. 端接。
規格
工作壓力 | 真空至 70 psig (4.8 bar) |
爆裂壓力 | > 3200 psig (220 bar) |
Actuation Pressure | 60 至 90 psig（4.1 至 6.2 bar） |
溫度 | 20° 至 220°C（70° 至 428°F） |
流量系數 |
“H"型 VCR® 連接件 | 20°C (70°F) 下為 0.60 |
| 220°C (428°F) 下為 0.40 |
VCR 和所有其他連接件 | 20°C (70°F) 下為 0.30
220°C (428°F) 下為 0.21 |
模塊化表面安裝 body | 20°C (70°F) 下為 0.25
220°C (428°F) 下為 0.21 |
閥體材料 | 316L VIM-VAR 不銹鋼 |
隔膜材料 | 鈷基高溫合金 |
端接 |
Type | VCR 和“H"型 VCR 金屬墊片面密封接頭、卡套管對焊；模塊化表面安裝 (MSM) |
Size | 1/4 和 3/8 in.
1.125 和 1.5 in. MSM |
