專門研發(fā)的一款上照式膜厚測試儀。儀器外觀簡潔大方，通過自動化的X軸Y軸Z軸的三維移動，雙激光定位和保護(hù)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)對平面、凹凸、拐角、弧面等各種簡單及復(fù)雜形態(tài)的樣品進(jìn)行快速對焦精準(zhǔn)分析。

性能優(yōu)勢

配置——采用高分辨率SDD探測器;分辨率高達(dá)140eV
上照式設(shè)計——實(shí)現(xiàn)微小不規(guī)則表面樣品如弧形，拱上照式設(shè)計形，凹槽，螺紋等異形的快、準(zhǔn)、穩(wěn)高效檢測
高精度自動化的X軸Y軸Z軸的聯(lián)動裝置實(shí)現(xiàn)對樣品的精準(zhǔn)對焦快速檢測
采用高度自動定位激光，可快速精準(zhǔn)定位測試高度，以滿足不同尺寸的鍍層測試
多種準(zhǔn)直孔可供選擇——準(zhǔn)直孔：0.05*0.3mm；Ф0.1mm；Ф0.2mm；Ф0.3mm；Ф0.5mm
定位精準(zhǔn)——樣品可快速精準(zhǔn)定位
操作簡易——全自動智能集成設(shè)計，讓檢測輕松完成