MEMS技術核心芯片級熱膜式微小流量檢測流量傳感器AFE-01
AFE-01 面議
上海允申自動化科技有限公司
霍尼韋爾AWM40000系列質量流量傳感器家族基于可靠的微橋技術,產品包括信號放大調理類型和無放大類型。其中,AWM42150VH和AWM42300V是無放大型傳感器,與上述兩款產品相比,帶放大型的AWM43300V和AWM43600V已裝配差分放大電路、發熱控制電路和傳感橋供電電路,有助于提高輸出增益和調節電壓偏移。
主要特性 | AWM42150VH | AWM42300V | AWM43300V | AWM43600V |
流量范圍(滿量程) | ±25 sccm | ±1000 sccm | +1000 sccm | +6 SLPM |
輸出電壓@標定點 | 8.5mV±1.5mV @25 sccm | 54.7mV±3.7mV DC @1000 sccm | 5V±0.15VDC @1000 sccm | 5V±0.15VDC @6 SLPM |
零點電壓 | 0.0±1.0mVDC | 0.0±1.5mVDC | 1.0±0.05VDC | 1.0±0.05VDC |
零點電壓漂移,典型值 | ±0.20mVDC | ±0.20mVDC | ±0.025VDC | ±0.025VDC |
輸出電壓漂移,值 | ±2.5% Reading 典型值 | ±2.5% Reading 典型值 | ±6.0%Reading 典型值 | ±6.0%Reading 典型值 |
功耗(mW) | 60(值) | 60(值) | 60(值) | 75(值) |
重復性&遲滯 | ±0.35% Reading | ±0.50% Reading | ±0.50% Reading | ±1.0% Reading |
壓降@滿量程(英寸水柱) | 0.008(典型值) | 1.02(典型值) | 1.02(典型值) | 8.0(典型值) |
| 最小值 | 典型值 | 值 | 單位 |
激勵電壓(VDC) | 8.0 | 10.0±0.01 | 15 | VDC |
響應時間 | | 1.0 | 3.0 | ms |
標定氣體 | | 氮氣 | | |
比率誤差 | | ±0.3%讀數 | | |
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