革新工業流體監控——FM31系列PFA液體質量流量控制器

在半導體制造、生物醫藥、超純水制備等高精度工業領域，液體流量測量的精準性與耐腐蝕性直接關乎產品質量與生產安全。FM31系列PFA材質液體質量流量控制器，以突破性技術設計重新定義行業標準，成為苛刻工況下的流量監控方案。

一、材質革新：PFA打造耐蝕金身，無懼強酸強堿

FM31系列核心部件采用聚全氟乙丙烯（PFA）材質，兼具聚四氟乙烯（PTFE）的化學惰性與氟樹脂的加工性，可耐受濃硫酸、氫氟酸等強腐蝕性介質，同時抵御有機溶劑、氧化劑的侵蝕。接液部分無O型密封圈設計，消除橡膠老化導致的泄漏隱患，在半導體工藝中可精準監控光刻膠、蝕刻液等特殊流體，在生物醫藥領域可安全計量培養基、藥液等敏感介質，為高純度、高潔凈度生產流程保駕護航。

二、結構精簡：渦流傳感+零動件，構建超穩測量系統

傳統流量計因機械部件磨損易導致精度衰減，而FM31系列創新性采用無移動部件設計：渦流發生器產生穩定渦旋場，渦流檢測器通過非接觸式電磁感應捕捉流體動態，將流速信號直接轉換為電信號輸出。這一結構不僅消除機械振動干擾，更使壓力損失降低至傳統產品的1/3，在0.4L/MIN微小流量下仍保持±0.5%FS的高精度。LED顯示屏實時顯示瞬時流量與累計值，操作人員無需額外設備即可完成現場調試與監控，顯著提升生產效率。

三、場景適配：多行業解決方案，全流程品質保障

從超純水制備系統的流量監控，到半導體晶圓清洗工藝的化學藥劑配比，FM31系列憑借以下優勢成為行業標配：

· CE認證合規性：通過歐盟安全認證，符合工業設備電磁兼容標準，可無縫接入全球自動化系統；

· 無粒子污染設計：PFA材質表面光潔度達Ra0.2μm，無金屬析出風險，滿足半導體級潔凈度要求；

· 安裝自由度：緊湊型設計節省60%安裝空間，支持水平、垂直、傾斜多角度安裝，適應復雜管路布局。

四、技術迭代：FM31系列對FM01的全面超越

作為FM01系列的升級之作，FM31系列在接液材質、顯示功能、壓力等級三大維度實現突破：接液部升級為全PFA材質，耐溫范圍擴展至-50℃~150℃；新增LED數字顯示屏，支持4-20mA模擬信號與Modbus RTU數字信號雙輸出；壓力承受能力提升至2MPa，可穩定運行于高壓輸送場景。這些升級使設備在光伏電池片生產、集成電路封裝等高精度工藝中的適用性大幅提升。

在工業4.0時代，FM31系列PFA液體質量流量控制器以“耐蝕性+精準度+穩定性”三重優勢，重新定義液體流量監控標準。無論是半導體制造的納米級工藝控制，還是生物醫藥的GMP合規生產，這款設備都將成為保障產品品質、提升生產效能的核心利器。選擇FM31系列，即是選擇未來工業的可靠伙伴。